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专利号: 2019210660896
申请人: 湖南工业大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统,其特征在于,包括飞秒激光系统、导光组件、三维振镜系统(20)、照明系统(5)、精密移动系统、CCD监测系统(7)、三维测量与处理系统(18);所述飞秒激光系统包括飞秒激光器(17)、飞秒激光烧蚀头(1)、激光器控制操作平台(16);所述导光组件与三维振镜系统(20)共同构成光路;所述飞秒激光系统发出的激光及照明系统(5)发出的照明光均沿所述光路传递;所述精密移动系统包括精密三维移动轴与控制平台(14),其设置于所述光路出口处,上方安装有螺旋锥齿轮(13);所述CCD监测系统(7)设置于照明光反射光路上;所述精密三维移动轴与控制平台一侧设有对准螺旋锥齿轮的侧吹气嘴(12)及与其连接的吹气系统(11)。

2.根据权利要求1所述的螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统,其特征在于,所述导光组件包括激光扩束器(2),二向色镜(3),分光镜(4),聚焦透镜(6);所述激光沿扩束器(2)、二向色镜(3)向三维振镜系统(20)传递;所述照明光的入射光沿分光镜(4)、二向色镜(3)向三维振镜系统(20)传递;所述照明光的反射光沿二向色镜(3)、分光镜(4)、聚焦透镜(6)传递至CCD监测系统(7)。

3.根据权利要求1所述的螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统,其特征在于,所述三维振镜系统(20)包括X轴扫描振镜(9)、Y轴扫描振镜(10)、Z轴移动振镜(8)、聚焦透镜(6)。

4.根据权利要求1所述的螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统,其特征在于,所述激光器控制操作平台(16)与控制计算机(15)连接。

5.根据权利要求1所述的螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统,其特征在于,所述CCD监测系统(7)与控制计算机(15)连接。

6.根据权利要求1所述的螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统,其特征在于,所述吹气系统(11)与控制计算机(15)连接。

7.根据权利要求1所述的螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统,其特征在于,所述精密三维移动轴与控制平台(14)与控制计算机(15)连接。

8.根据权利要求1所述的螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统,其特征在于,还设有激光传感器(19),所述激光传感器与控制计算机(15)连接。

9.根据权利要求1所述的螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统,其特征在于,所述侧吹气嘴(12)与螺旋锥齿轮表面光斑成45度角;所述三维振镜安装于数控工作台上。