1.一种超结逆导型栅控双极型器件,其元胞包括集电极结构、耐压层结构、发射极结构、栅极结构以及绝缘介质结构,其中耐压层结构位于集电极结构之上,发射极结构和栅极结构位于耐压层结构之上,绝缘介质结构垂直插入集电极结构、耐压层结构以及发射极结构的中间;
所述发射极结构包括位于耐压层结构上表面的N型载流子存储区(6),所述N型载流子存储区(6)上表面具有P型阱区(8),所述P型阱区(8)上表面具有并列设置的N+发射极区(10)和P+体接触区(9),且N+发射极区(10)位于靠近栅极结构的一侧,N+发射极区(10)和P+体接触区(9)的共同引出端为发射极(E);
所述栅极结构为沟槽栅,所述沟槽栅由绝缘介质(11)和位于绝缘介质(11)之中的导电材料(12)构成;所述导电材料(12)的引出端为器件的栅极(G);所述沟槽栅沿器件垂直方向贯穿P型阱区(8)和N型载流子存储区(6)并延伸入耐压层结构中,沟槽栅的侧面与N型载流子存储区(6)、P型阱区(8)以及N+型发射极区(10)的侧面接触;
所述耐压层结构包括第一漂移区(4)以及第二漂移区(5),所述第二漂移区(5)与第一漂移区(4)呈间隔分布,所述沟槽栅的底部延伸入第二漂移区(5)中,第二漂移区(5)的上表面与N型载流子存储区(6)下表面接触,所述第一漂移区(4)的上表面与N型载流子存储区(6)的下表面接触;所述第一漂移区(4)的掺杂杂质与第二漂移区(5)的掺杂杂质是极性相反两种掺杂,所述第一漂移区(4)与第二漂移区(5)组成超结结构;
所述集电极结构包括P+集电极区(2)、N+集电极区(1)和N型缓冲层(3),所述N型缓冲层(3)的上表面与耐压层相连接,所述P+集电极区(2)以及N+集电极区(1)的上表面与N型缓冲层(3)相连接,所述P+集电极区(2)与第二漂移区(5)位于同一侧,且横向宽度大于或等于第二漂移区(5)的横向宽度,所述N+集电极区(1)与第一漂移区(4)位于同一侧,且其横向宽度小于或等于P型漂移区(5)的横向宽度;所述P+集电极区(2)以及N+集电极区(1)的共同引出端为集电极(C);
所述绝缘介质结构为绝缘介质(7),绝缘介质(7)位于第一漂移区(4)及第二漂移区(5)的垂直分界线处,并沿着垂直分界线处向上依次穿过N型载流子存储区(6)、P型阱区(8)以及P+体接触区(9),同时沿着垂直分界线处向下穿过N型缓冲层(3),其下表面与P+集电极区(2)接触。