利索能及
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专利号: 2019109542910
申请人: 黑龙江大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种响应温度刺激的阻变存储器的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤一,在聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上真空蒸镀铝薄膜;

步骤二,将果胶粉和果胶酶溶解在去离子水中,搅拌均匀,获得果胶水溶液;

步骤三,将步骤二获得的果胶水溶液滴涂在铝薄膜上形成功能层;

步骤四,在功能层上覆盖铝电极矩阵,形成上电极,获得响应温度刺激的阻变存储器; 所述的步骤二中果胶粉、果胶酶和去离子水的质量比为(2~4):(0.1~0.3):10。

2.根据权利要求1所述的一种响应温度刺激的阻变存储器的制备方法,其特征在于:所‑4 ‑4述的步骤一真空蒸镀条件为1×10 Pa~3×10 Pa,沉积速率为3~5埃/秒。

3.根据权利要求1所述的一种响应温度刺激的阻变存储器的制备方法,其特征在于:所述的果胶粉为3mg,果胶酶为0.3mg,去离子水为10ml。

4.根据权利要求1所述的一种响应温度刺激的阻变存储器的制备方法,其特征在于:所述的步骤三果胶水溶液滴涂在铝薄膜上形成薄膜具体操作过程为:步骤1,将果胶水溶液滴加在铝薄膜上形成薄膜;然后,室温下静置干燥至薄膜含水量为70%‑80%;

步骤2,重复步骤1的操作4‑5次,最后,室温下静置干燥至薄膜含水量低于3.5%,形成功能层。

5.根据权利要求1所述的一种响应温度刺激的阻变存储器的制备方法,其特征在于:所述的步骤四在功能层上利用掩膜法真空蒸镀制备铝电极矩阵。

6.根据权利要求5所述的一种响应温度刺激的阻变存储器的制备方法,其特征在于:所‑4 ‑4述的掩膜法真空蒸镀制备铝电极矩阵的条件为真空度为1×10 Pa~3×10 Pa,沉积速率为3~5埃/秒;掩膜板的孔径为100μm,孔间距为150μm。

7.根据权利要求1或5所述的一种响应温度刺激的阻变存储器的制备方法,其特征在于:所述的铝电极矩阵由直径为100μm,厚度为200nm以上的圆形铝电极构成。