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专利号: 2019109298131
申请人: 重庆理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-04-30
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种具有[100]择尤取向的全IMC微焊点的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一,电镀,提供两块金属基底,所述金属基底的焊接面上沉积有厚度为20±2μm的Co-P纳米晶薄膜,该Co-P纳米晶薄膜中P的原子百分比为0.1 10at.%;

~

步骤二,钎焊,将两块金属基底的焊接面对准,以纯Sn作为钎料,利用浸焊或回流焊在两块金属基底的焊接面之间制得Co-P/Sn/Co-P微互连结构;

步骤三,时效处理,对制得的Co-P/Sn/Co-P微互连结构进行时效处理,时效温度为150~

230℃,时效时间为20 200h,得到具有[100]择尤取向的全IMC微焊点。

~

2.根据权利要求1所述的具有[100]择尤取向的全IMC微焊点的制备方法,其特征在于:所述步骤一中金属基底的焊接面上通过超声辅助电沉积、化学镀、蒸镀或溅射得到Co-P纳米晶薄膜。

3.根据权利要求1或2所述的具有[100]择尤取向的全IMC微焊点的制备方法,其特征在于,所述步骤二中浸焊或回流焊的工艺参数为:焊接温度为230 320℃,焊接时间为10 90s,~ ~冷却方式为风冷或水冷。

4.根据权利要求1或2所述的具有[100]择尤取向的全IMC微焊点的制备方法,其特征在于:所述步骤二中浸焊或回流焊的焊缝高度≤三倍Co-P纳米晶薄膜厚度。

5.根据权利要求1或2所述的具有[100]择尤取向的全IMC微焊点的制备方法,其特征在于:所述步骤三中时效温度和时效时间根据具体情况进行合理调整;且时效温度越高,时效时间越短;时效温度越低,时效时间越长。

6.根据权利要求1或2所述的具有[100]择尤取向的全IMC微焊点的制备方法,其特征在于:所述金属基底的材质为Cu、Au、Ag、Al和Ni中的一种。