1.一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，包括伺服电机，其特征在于：所述加工运动装置由旋转运动装置和直线运动装置组成；

所述旋转运动装置由一级行星齿轮减速器和二级行星齿轮减速器构成；

所述一级行星齿轮减速器由上壳体(26)、桥架(27)、第二级行星齿轮(28)、滚针轴承(35)、齿轮架(36)、空心齿轮轴(37)、少齿数轴(41)、上端盖(45)、第一级行星齿轮(34)、第一级双联齿轮(72)和中间连接壳体(74)连接构成；所述上端盖(45)设置在所述上壳体(26)的顶部，少齿数轴(41)的顶端通过平键(42)与伺服电机的转轴相连接，所述少齿数轴(41)设置在所述上壳体(26)的内部，所述上壳体(26)内壁的上端和下端均设有内齿，多个所述第一级行星齿轮(34)分别与所述少齿数轴(41)的外齿及上壳体(26)内壁上端的内齿啮合相连接，所述齿轮架(36)设置在所述第一级行星齿轮(34)的端面外部，每个所述第一级行星齿轮(34)均通过空心齿轮轴(37)与齿轮架(36)形成轴向固定连接，所述第一级双联齿轮(72)的上联齿轮与所述齿轮架(36)的下方啮合连接，多个所述第二级行星齿轮(28)分别与所述第一级双联齿轮(72)的下联齿轮、上壳体(26)内壁下方的内齿啮合相连接，所述第二级行星齿轮(28)的端面外部设有桥架(27)，每个所述第二级行星齿轮(28)中心均设有轴套(30)，所述桥架(27)通过轴套(30)与每个第二级行星齿轮(28)形成轴向固定连接，所述桥架(27)的底部旋转连接在所述中间连接壳体(24)的中心，所述少齿数轴(41)的上端连接设置在端盖(45)的中心孔中，所述少齿数轴(41)的下端连接设置在桥架(27)上方的中心孔中；

所述二级行星齿轮减速器由中间壳体(17)、行星架输出轴(18)、行星架(20)、第三级齿轮轴(52)、齿轮轴(53)、圆柱定位销(54)、第二级双联齿轮(59)、中间连接壳体(74)连接构成；所述中间壳体(17)连接设置在中间连接壳体(74)的下方，所述中间连接壳体(74)的内壁上设有内齿轮(23)，所述内齿轮(23)通过圆柱定位销(22)与中间连接壳体(74)连接固定，所述行星架输出轴(18)设置在所述中间壳体(17)的中心，所述第三级齿轮轴(52)旋转设置在行星架输出轴(18)上端中心与中间连接壳体(74)下端中心之间，所述第三级齿轮轴(52)的上端与所述桥架(27)的下端卡合连接，所述第二级双联齿轮(59)的上联齿轮分别与所述第三级齿轮轴(52)和内齿轮(23)啮合连接，所述第二级双联齿轮(59)的端面外侧设有行星架(20)，所述第二级双联齿轮(59)的中心设有齿轮轴(53)，所述齿轮轴(53)通过圆柱定位销与第二级双联齿轮(59)连接固定，所述行星架输出轴(18)的顶部内侧设有内齿，所述第二级双联齿轮(59)的下联齿轮与行星架输出轴(18)顶部的内齿啮合连接，在所述第二级双联齿轮(59)的带动下使行星架输出轴(18)完成高减速比的旋转运动；

所述直线运动装置由电解运动驱动轴(1)、导向盖(2)、下端盖(6)、推力球轴承(7)、定位圆柱销(8)、密封环(9)、密封圈(10)、导向套(13)、导向锁紧螺母(14)、导向复位弹簧(15)、中间壳体(17)、行星架输出轴(18)连接构成；

所述行星架输出轴(18)旋转设置在所述中间壳体(17)的内部，所述行星架输出轴(18)外壁与中间壳体(17)内壁之间设有导向套(13)，所述导向套(13)底部设有导向盖(2)，所述导向盖(2)通过螺栓与导向套(13)连接固定，所述导向套(13)通过导向锁紧螺母(14)与行星架输出轴(18)连接固定，所述下端盖(6)设置在导向盖(2)的外围，所述下端盖(6)通过螺栓与中间壳体(17)的底面紧固连接，所述行星架输出轴(18)内部设有空腔，所述空腔壁上设有进出压力油口(64)，所述电解运动驱动轴(1)滑动设置在所述行星架输出轴(18)内的空腔中，所述电解运动驱动轴(1)与行星架输出轴(18)之间设有密封环(9)、密封圈(10)和导向复位弹簧(15)，进油时油压克服导向复位弹簧(15)压力并在导向盖(2)的导向下使电解运动驱动轴(1)向下移动，排油时在导向复位弹簧(15)的作用下使电解运动驱动轴(1)向上移动，所述电解运动驱动轴(1)的底部轴头上连接安装电解刀具，通过直线运动与旋转运动的共同作用完成小分度圆直径斜齿内齿轮的电解加工。

2.根据权利要求1所述的一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，其特征在于：所述行星架输出轴(18)下端的内孔与电解运动驱动轴(1)的内孔构成液压缸，行星架输出轴(18)内孔壁上设有密封圈定位环(11)，密封圈定位环(11)中设置O型密封圈(12)，电解运动驱动轴(1)的移出断面形状呈腰鼓形，导向盖(2)上的导向孔亦为与电解运动驱动轴(1)相匹配的腰鼓形孔，电解运动驱动轴(1)与导向孔形成滑动间隙配合。

3.根据权利要求1所述的一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，其特征在于：所述上端盖(45)的中心孔与桥架(27)的中心孔同轴设置，上端盖中心孔与桥架中心孔内均设有角接触球轴承(40)，少齿数轴(41)通过角接触球轴承(40)形成支承定位并旋转于上端盖(45)与桥架(27)之间。

4.根据权利要求1所述的一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，其特征在于：所述第一级行星齿轮(34)和第二级行星齿轮(28)的数量均为3～4个。

5.根据权利要求1所述的一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，其特征在于：所述空心齿轮轴(37)穿设在第一级行星齿轮(34)和齿轮架(36)的孔中，空心齿轮轴(37)与第一级行星齿轮(34)间设置滚针轴承(35)，空心齿轮轴(37)的上端通过轴位垫圈(38)和轴卡圈(39)进行轴向定位。

6.根据权利要求1所述的一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，其特征在于：所述桥架(27)与第三级齿轮轴(52)的结合处为凸块与凹槽的卡接配合。

7.根据权利要求1所述的一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，其特征在于：所述第二级行星齿轮(28)空套在轴套(30)上，轴套(30)通过螺栓(31)安装在桥架(27)后用平垫圈(32)、轻型弹簧垫圈(33)及螺母(73)锁紧。

8.根据权利要求1所述的一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，其特征在于：所述第二级双联齿轮(59)安装在齿轮轴(53)上，通过圆柱定位销(54)使齿轮轴(53)和第二级双联齿轮(59)具有共同的角速度；齿轮轴(53)通过2个角接触球轴承(60)支撑在行星架(20)上，并通过其两端的轴用卡圈(55)限制轴向位置。

9.根据权利要求1所述的一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，其特征在于：所述上壳体(26)的内孔有2个内齿轮圆柱齿轮副，内齿轮的齿顶圆直径呈上小下大设置，中间连接壳体(74)与上壳体(26)通过止口定位，保证同心，通过圆柱定位销(25)限制角向转动，上壳体(26)与上端盖(45)通过止口定位，保证同心，通过圆柱定位销(75)限制角向转动，通过螺钉(46)、平垫圈(47)、轻型弹簧垫圈(48)将上壳体(26)与上端盖(45)紧固。

10.根据权利要求1所述的一种小分度圆直径的斜齿内齿轮电解加工运动装置，其特征在于：所述中间连接壳体(74)一方面和中间壳体(17)通过止口连接，通过定位销(21)使中间连接壳体(74)和中间壳体(17)之间不能产生转动；中间连接壳体(74)与内齿轮(23)间通过轴孔配合保证中间连接壳体(74)、内齿轮(23)同心，通过圆柱定位销(22)限制角向转动；

中间连接壳体(74)也是一对背对背安装的推力球轴承(19)的安装定位件；中间连接壳体(74)与上壳体(26)通过止口定位，保证同心，通过圆柱定位销(25)限制角向转动。