1.一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

在反射镜面形校准前，保持第一反射镜和第二反射镜处于零位定位；

将两个反射镜沿激光干涉仪的两道测量光束方向呈45°倾斜角度设置；

保持第一个反射镜不动，将第二个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向作步进运动，激光干涉仪得到测量值，按设定的步进值，保持第一个反射镜不动，将第二个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向重复多次步进运动，激光干涉仪得到多个测量值，经计算得到第一组面形变化数值；

第二个反射镜上的光束测量完成后，将移动的第二反射镜复位；

保持第二个反射镜不动，将第一个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向作反向步进运动，激光干涉仪得到测量值，按设定的步进值，保持第二个反射镜不动，将第一个反射镜沿激光干涉仪的测量光束出射方向重复多次步进运动，激光干涉仪得到多个测量值，经计算得到第二组面形变化数值；

第一个反射镜上的光束测量完成后，将移动的第一反射镜复位；

将第一组面形变化数值和第二组面形变化数值做平均化处理，计算得到整体面形变化。

2.如权利要求1所述的激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，其特征在于，在反射镜面形校准前，校准环境处于真空状态。

3.如权利要求1所述的激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，其特征在于，在反射镜面形校准前，设定激光干涉仪上两道测量光束之间的距离为L，设定步进值为Δ，步进次数M＝L/Δ。

4.如权利要求1所述的激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，其特征在于，第二反射镜的实际步进次数与预设的步进次数M进行比较，若第二反射镜的实际步进次数小于预设的步进次数M，需要第二反射镜继续作步进运动，第二反射镜不能复位；

若第二反射镜的实际步进次数大于预设的步进次数M，第二反射镜复位。

5.如权利要求1所述的激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，其特征在于，第一反射镜的实际步进次数与预设的步进次数M进行比较，若第一反射镜的实际步进次数小于预设的步进次数M，需要第一反射镜继续作步进运动，第一反射镜不能复位；

若第一反射镜的实际步进次数大于预设的步进次数M，第一反射镜复位。

6.如权利要求1所述的激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，其特征在于，在测量第二反射镜的测量值时，激光干涉仪得到的测量值为G1x(x＝1,2,…M-1)，第一组面形变化数值为B1x＝G1x-Δ(x＝1,2,…M-1)。

7.如权利要求6所述的激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，其特征在于，在测量第一反射镜的测量值时，激光干涉仪得到的测量值G2y(y＝M-1,M-2,…1)，第二组面形变化数值为：B2y＝G2y-Δ(y＝M-1,M-2,…1)。

8.如权利要求7所述的激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测方法，其特征在于，第一 组 面形 变化 数 值和 第二 组 面形 变化 数 值平 均 化处 理公 式 为

9.一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测装置，其特征在于，

包括工作台、激光干涉件、第一反射件、第二反射件、第一驱动件、第二驱动件和待测反射镜面，所述激光干涉件与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的上方，所述工作台上设有所述第一反射件和所述第二反射件，且所述第一反射件和所述第二反射件均沿所述激光干涉件的两道测量光束方向呈45°倾斜角度设置，所述第一驱动件与所述工作台固定连接，且所述第一驱动件驱动所述第一反射件在所述工作台上移动，所述第二驱动件与所述工作台固定连接，且所述第二驱动件驱动所述第二反射件在所述工作台上移动，所述待测反射镜面与所述工作台固定连接，所述待测反射镜面接收所述第一反射件和所述第二反射件反射的光束。

10.如权利要求9所述的激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测装置，其特征在于，所述激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测装置还包括真空罩，所述真空罩套设在所述工作台外部，所述真空罩内处于真空状态。