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专利号: 202120985686X
申请人: 爱佩仪智能装备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种内置干涉镜的激光干涉仪,包括激光干涉仪主体(1),其特征在于:所述激光干涉仪主体(1)的左侧端口设置有激光头(3),所述激光干涉仪主体(1)的右侧端口设置有接线口(2),所述激光干涉仪主体(1)的下端表面设置有磁吸固定盘(4),所述磁吸固定盘(4)的下端表面设置有一号套筒(10),所述一号套筒(10)的下端设置有二号套筒(11),所述一号套筒(10)与二号套筒(11)之间设置有螺纹杆(13),所述螺纹杆(13)的中部设置有调节螺母(12)。

2.根据权利要求1所述的一种内置干涉镜的激光干涉仪,其特征在于:所述一号套筒(10)与磁吸固定盘(4)之间为活动连接,所述一号套筒(10)和二号套筒(11)内均设置有活动腔(16),所述一号套筒(10)的下端端口设置有一号螺纹孔(14),所述二号套筒(11)的上端端口设置有二号螺纹孔(15),所述调节螺母(12)与螺纹杆(13)之间为固定连接,所述螺纹杆(13)与一号套筒(10)以及二号套筒(11)之间为转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种内置干涉镜的激光干涉仪,其特征在于:所述螺纹杆(13)的上端穿过一号螺纹孔(14)延伸至一号套筒(10)内部,所述螺纹杆(13)的下端穿过二号螺纹孔(15)延伸至二号套筒(11)的内部,所述螺纹杆(13)以调节螺母(12)为分界点其上端与下端的表面的螺纹为异向螺纹,所述一号螺纹孔(14)和二号螺纹孔(15)的螺纹分别与螺纹杆(13)的上端和下端表面的螺纹同向。

4.根据权利要求1所述的一种内置干涉镜的激光干涉仪,其特征在于:所述二号套筒(11)的下端设置有减震板(5),所述减震板(5)的下端设置有固定板(8),所述减震板(5)套于固定板(8)的上端外部,所述减震板(5)的内部位于固定板(8)的上端表面设置有缓冲柱(20),所述缓冲柱(20)的上端设置有活塞杆(17),所述活塞杆(17)的上端与减震板(5)相连,所述活塞杆(17)的外部表面设置有弹簧(18)。

5.根据权利要求4所述的一种内置干涉镜的激光干涉仪,其特征在于:所述活塞杆(17)的下端延伸至缓冲柱(20)的内部,所述活塞杆(17)与减震板(5)之间为活动连接,所述缓冲柱(20)的内部位于活塞杆(17)的下端填充有黏滞流体,所述缓冲柱(20)与固定板(8)之间为活动连接,所述固定板(8)的侧面与减震板(5)的连接处设置有滑槽(6),所述减震板(5)的内侧表面与固定板(8)的连接处且位于滑槽(6)内设置有滑块(19),所述滑块(19)与滑槽(6)之间为滑动连接。

6.根据权利要求4所述的一种内置干涉镜的激光干涉仪,其特征在于:所述固定板(8)的下端设置有固定座(7),所述固定座(7)的上端表面设置有安装孔(9)。