1.一种带增强柔性铰链组的刚柔耦合平台,其特征在于,所述刚柔耦合平台包括:运动平台刚性框架、核心运动平台和柔性铰链组;
所述柔性铰链组包括:多片弹簧片、多组垫片组;
一组垫片组包括多片并联的垫片;
相邻两片所述弹簧片之间均有一组所述垫片组分隔;
所述运动平台刚性框架通过所述柔性铰链组与所述核心运动平台连接;
其中,所述多片弹簧片的长度相等,端部对齐。
2.根据权利要求1所述的带增强柔性铰链组的刚柔耦合平台,其特征在于,所述柔性铰链组在所述运动平台刚性框架中设置方向与所述核心运动平台在所述运动平台刚性框架中的运动方向正交。
3.根据权利要求2所述的带增强柔性铰链组的刚柔耦合平台,其特征在于,所述柔性铰链组为两组,两组所述柔性铰链组对称布置在所述核心运动平台两端。
4.根据权利要求1‑3任一项所述的带增强柔性铰链组的刚柔耦合平台,其特征在于,所述柔性铰链组的多片弹簧片与多组垫片组通过螺栓连接的方式连接。
5.根据权利要求1‑3任一项所述的一种带增强柔性铰链组的刚柔耦合平台,其特征在于,所述柔性铰链组的多片弹簧片与多组垫片组通过胶合连接的方式连接。
6.一种精密运动平台,其特征在于,所述精密运动平台包括机座、固定在所述机座上的直线导轨、导轨滑块、权利要求1‑5任一项所述的刚柔耦合平台、直线驱动器;
所述刚柔耦合平台中的核心运动平台与所述直线驱动器连接,所述刚性框架通过所述导轨滑块与所述直线导轨连接。
7.根据权利要求6所述的精密运动平台,其特征在于,所述精密运动平台还包括位移传感器,所述位移传感器与所述核心运动平台连接,用于测量所述核心运动平台在运动方向上的位移。