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专利号: 201910327298X
申请人: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有高硬度和高结合力的CrAlN纳米梯度涂层的制备工艺,其特征在于:所述CrAlN纳米梯度涂层中,Cr含量由里层到表层呈线性降低,而Al含量由里层到表层呈线性增加;所述CrAlN纳米梯度涂层由面心立方结构的(Cr,Al)N相组成;涂层的衍射峰向小角度偏移;所述CrAlN纳米梯度涂层的硬度大于30GPa,弹性模量大于475GPa;CrAlN纳米梯度涂层与基材之间的结合力大于95N;所述CrAlN纳米梯度涂层的里层中,Cr含量为40~60at.%,Al含量为0,N含量为40~60at.%;所述CrAlN纳米梯度涂层的表层中,Cr含量为10~

30at.%,Al含量为20~40at.%,N含量为40~60at.%;所述CrAlN纳米梯度涂层中的N含量由里层到表层的变化幅度为0~5at.%;

所述具有高硬度和高结合力的CrAlN纳米梯度涂层的制备工艺,是采用电弧离子镀和磁控溅射共沉积技术制备所述CrAlN纳米梯度涂层,包括如下步骤:(1)所用靶材为Cr靶和Al靶,基片放在能够同时自转和公转的转架上,并控制基体公转速度为10~40r/min;

(2)对基片进行辉光清洗后,先沉积Cr过渡层,再沉积CrN层;沉积Cr过渡层的过程为:辉光清洗后开启Cr靶,并逐渐降低偏压至‑20~‑100V,沉积金属Cr过渡层5~20min;沉积CrN层的过程为:通入N2,N2流量50~300sccm,基片加偏压为‑20~‑100V,并保持5~40min;

沉积Cr过渡层和CrN层时,Cr靶电流保持为60~120A,控制工艺温度为200~500℃;

(3)沉积CrAlN纳米梯度涂层:开启Cr靶和Al靶,在N2与Ar的混合气氛下沉积CrAlN纳米梯度涂层,其中:基片加‑20~‑100V负偏压,Ar流量为10~300sccm,N2流量为50~300sccm,控制N2与Ar的流量比为1~15,真空室压强为0.3~3Pa;镀膜过程中Cr靶电流保持为60~

120A,Al靶功率从0.6kw逐渐增加至2~5kw,沉积温度为200~500℃,沉积时间为120~

480min;所述CrAlN层中,Cr和Al分别采用电弧离子镀和磁控溅射技术获得;涂层中Cr和Al含量分别由Cr靶电流和Al靶溅射功率控制。

2.根据权利要求1所述的具有高硬度和高结合力的CrAlN纳米梯度涂层的制备工艺,其特征在于:所述CrAlN纳米梯度涂层总厚度为1.5~10μm,在基材上依次沉积厚度50~500nm的Cr层与厚度50~1000nm的CrN层后,再沉积CrAlN纳米梯度涂层,以提高涂层与基体之间的结合力。

3.根据权利要求1所述的具有高硬度和高结合力的CrAlN纳米梯度涂层的制备工艺,其特征在于:步骤(2)中,所述辉光清洗的过程为:采用真空机组抽真空,当真空室气压小于1‑3 ‑3

×10 Pa时,打开加热系统将炉腔加热至200~500℃,继续抽真空至小于9×10 Pa时,开启Ar气流量阀,控制Ar气流量为50~300sccm;调整节流阀使真空室压强为0.1~3Pa,基片加‑

600~‑1000V负偏压,辉光清洗10~30min。