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专利号: 2019103263571
申请人: 东华理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-08-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种制备人工反铁磁体复合材料的方法,其特征在于,具体步骤如下:步骤一,将镶嵌靶放入真空溅射室的靶位,将基片固定在真空溅射室的基片台上,向真空溅射室通入工作气体;

步骤二,在基片上溅射缓冲层;

步骤三,在缓冲层上溅射生长亚铁磁层I,基片自然冷却;

步骤四,待基片冷却至18‑28摄氏度后,在亚铁磁层I上继续溅射生长亚铁磁层II,亚铁磁层I和亚铁磁层II是含钆的稀土‑过渡合金,亚铁磁层I和亚铁磁层II的饱和磁化强度基本相当,富相相反,高磁场时,结构中两亚铁磁层的磁矩取向与外磁场近似平行一致,亚铁磁层I和亚铁磁层II的厚度均为20‑40nm,最后在基片上溅射生长保护层,即得到成品。

2.根据权利要求1所述的制备人工反铁磁体复合材料的方法,其特征在于,所述基片固定在基片台前进行清洗和烘干处理。

3.根据权利要求1所述的制备人工反铁磁体复合材料的方法,其特征在于,所述工作气‑5

体为高纯度氩气,真空溅射室的真空度为1×10 Pa以下。

4.根据权利要求1所述的制备人工反铁磁体复合材料的方法,其特征在于,所述缓冲层为金属缓冲层,保护层为金属保护层。

5.根据权利要求4所述的制备人工反铁磁体复合材料的方法,其特征在于,所述缓冲层和保护层均为钽层、钯层或者铂层中的任意一种。

6.根据权利要求1或5所述的制备人工反铁磁体复合材料的方法,其特征在于,所述缓冲层和保护层的厚度均为2‑30nm。