1.槽体自动开关盖机构，其特征在于，包括第一侧板（4）及其平行设置的第二侧板（8），所述第一侧板（4）和第二侧板（8）之间对称转动连接有两个第一盖板（5），所述第一侧板（4）背离第二侧板（8）的外侧面对应两个第一盖板（5）转轴所在位置处对称设置的两个连接架（1），两个所述连接架（1）均与对应的气缸保护架（3）焊接，所述气缸保护架（3）的内部固定有旋转气缸（2），所述旋转气缸（2）通过旋转轴（11）与对应位置的第一盖板（5）传动连接；

所述第一侧板（4）和第二侧板（8）二者的相对面位于第一盖板（5）转轴处的下部焊接有延伸至第一侧板（4）和第二侧板（8）两侧的档条（10），所述第一侧板（4）和第二侧板（8）的相对面位于档条（10）的上部均对称开设有两个弧形引导槽（7），所述第一盖板（5）远离转轴的端部底面通过铰链（15）与第二盖板（6）转动连接，所述第二盖板（6）由固定盖板（61）以及端部滑动连接的活动盖板（62）组成，所述固定盖板（61）的两外侧壁焊接有延伸至弧形引导槽（7）内的轮轴（611），所述轮轴（611）的外壁转动套接有与弧形引导槽（7）内壁贴靠的滚轮（612），所述固定盖板（61）相对活动盖板（62）的侧面等距开设有四个滑杆槽（613），所述活动盖板（62）的截面为L型，所述活动盖板（62）相对四个滑杆槽（613）的端面对应四个滑杆槽（613）的所在位置焊接有插杆（621），所述插杆（621）的外壁套接有连接活动盖板（62）和固定盖板（61）的拉伸弹簧（63），所述活动盖板（62）相对四个滑杆槽（613）的端面内部等距嵌入安装有三个磁铁片（622），所述活动盖板（62）背离三个磁铁片（622）的端面粘附固定有第一橡胶条（623）；

所述第一盖板（5）和第二盖板（6）的底面之间连接有橡胶带（13），所述第一盖板（5）和第二盖板（6）的底面对应橡胶带（13）侧边位置开设有卡槽（14），所述橡胶带（13）的顶面对应卡槽（14）所在位置处设置有卡条（131）；

所述档条（10）的表面粘附固定有第二橡胶条（9），所述第一盖板（5）和第二盖板（6）的底面对应第二橡胶条（9）所在位置处粘附固定有第三橡胶条（12）；

两个所述活动盖板（62）相对面内嵌入安装的磁铁片（622）相吸，并且两个活动盖板（62）相对面粘附的两个第一橡胶条（623）表面开设有相互卡合的沟槽。

2.根据权利要求1所述的槽体自动开关盖机构,其特征在于，所述弧形引导槽（7）的内宽大于滚轮（612）的外径。

3.根据权利要求1所述的槽体自动开关盖机构,其特征在于，所述活动盖板（62）的底宽大于活动盖板（62）的位移距离。

4.根据权利要求1所述的槽体自动开关盖机构,其特征在于，所述第一盖板（5）的旋转角度为0‑90°。

5.根据权利要求1所述的槽体自动开关盖机构,其特征在于，所述橡胶带（13）的宽度小于第二盖板（6）上橡胶带（13）连接处与第一盖板（5）铰接处之间距离与第一盖板（5）上橡胶带（13）连接处与第二盖板（6）铰接处之间距离之和3‑5mm。

6.如权利要求1所述的槽体自动开关盖机构的工作方法,其特征在于，该开关盖机构的具体使用步骤为：

步骤一：将开关盖机构通过螺栓与半导体湿式制程设备的槽体端口进行连接，在第一侧板（4）的外侧，介于第一侧板（4）和第二侧板（8）之间通过档条（10）固定挡板，并在挡板的上部固定与第一盖板（5）搭接的橡胶压条；

步骤二：将外接的供气装置通过气管与两个旋转气缸（2）各自的两个进气嘴进行连接；

步骤三：控制开关盖机构关盖时，外接的供气装置通过气管向旋转气缸（2）一端供气，控制旋转气缸（2）带动旋转轴（11）旋转，旋转的旋转轴（11）带动第一盖板（5）向内进行翻转，由于第一盖板（5）和第二盖板（6）之间通过铰链（15）转动连接，并且第二盖板（6）的侧壁设置有与弧形引导槽（7）滑动连接的滚轮（612），在滚轮（612）的引导作用下，第二盖板（6）沿着弧形引导槽（7）移动，当第二盖板（6）的顶面趋于重合时，两个第二盖板（6）端部活动盖板（62）内的磁铁片（622）相互吸引，使得两个活动盖板（62）之间相向移动，完成两个第二盖板（6）之间的拼接，同时第一盖板（5）和第二盖板（6），顶面处于重合时，第一盖板（5）和第二盖板（6）底面下部的第二橡胶条（9）和第三橡胶条（12）之间实现密封，并且挡板上的橡胶压条对第一盖板（5）连接处实现搭接；

步骤四：控制开关盖机构开盖时，外接的供气装置通过气管向旋转气缸（2）另一端供气，控制旋转气缸（2）带动旋转轴（11）反向旋转，反向旋转的旋转轴（11）带动第一盖板（5）向外进行翻转，此时两个第二盖板（6）之间相互背离，第二盖板（6）端部活动盖板（62）内的磁铁片（622）逐渐分离，并且在拉伸弹簧（63）的作用下，恢复至初始位置，然后随着第一盖板（5）的逐渐翻转，第二盖板（6）通过滚轮（612）沿着弧形引导槽（7）移动，并且第二盖板（6）向第一盖板（5）靠拢，从而将半导体湿式制程设备的槽体端口打开。