1.一种氯硅烷及石英联合制备的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)对金刚线切割硅片的砂浆进行固液分离,得到成品硅粉,成品硅粉包括单质硅、二氧化硅;
(2)以成品硅粉为原料与氯化剂进行氯化反应,氯化反应的温度为200~600℃,成品硅粉中的游离硅反应生成氯硅烷,制备氯硅烷,得到第一反应残渣,第一反应残渣包括金属杂质、残存的单质硅、二氧化硅,第一反应残渣的主要成分为二氧化硅;
(3)将第一反应残渣与氯气进行高温氯化反应,进行气固分离,得到第二反应残渣,其中,高温氯化反应的温度为1000℃、1100℃、1200℃中的任意一种,第二反应残渣包括固体二氧化硅,其中,金属杂质、残存的单质硅与氯气反应生成气体金属氯化物、气体氯硅烷;
(4)将第二反应残渣进行酸浸,除去第二反应残渣中的金属氧化物杂质,得到悬浮液;
(5)对悬浮液进行固液分离,得到固体二氧化硅;
(6)将固体二氧化硅加热至熔融,冷却后得到熔融石英。
2.根据权利要求1所述的氯硅烷及石英联合制备的方法,其特征在于,所述步骤(3)中的高温氯化反应在氯化炉内进行,当第一反应残渣与氯气进行高温氯化反应,金属杂质、残存的单质硅与氯气反应生成金属氯化物气体、氯硅烷气体,将高温氯化炉出口的尾气进行水解,当水解后没有白色的二氧化硅水解物产生时,停止向氯化炉内通入氯气继续反应,否则继续通入氯气反应。
3.根据权利要求1所述的氯硅烷及石英联合制备的方法,其特征在于,所述步骤(4)中酸浸所用的酸为盐酸、硫酸、硝酸中的任意一种,酸浸所用的酸的浓度为10~20mas%。
4.根据权利要求1所述的氯硅烷及石英联合制备的方法,其特征在于,所述步骤(5)中进行固液分离的具体方法为过滤,对过滤出的固体进行淋洗,淋洗至淋洗液的pH值达到6以上。
5.根据权利要求1、3、4任意一项所述的氯硅烷及石英联合制备的方法,其特征在于,所述步骤(6)中的熔融温度为1500~1800℃。
6.根据权利要求1、3、4任意一项所述的氯硅烷及石英联合制备的方法,其特征在于,所述步骤(2)中的氯化剂为氯气和/或氯化氢。
7.根据权利要求1、3、4任意一项所述的氯硅烷及石英联合制备的方法,其特征在于,所述步骤(6)之后还包括以下步骤:(7)对冷却后得到的熔融石英进行破碎、分级,得到熔融石英粉体。