利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2019101202959
申请人: 江苏守恒建设集团有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-07
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种用于电子、通讯行业的超精密半导体材料,其特征在于,所述超精密半导体材料的制备过程包括如下步骤:

(1)先利用切割设备将半导体材料切割出厚度为100~200μm的晶片;

(2)将晶片用一种粘结剂固定在一块支撑物上;

(3)在研磨机上研磨固定在支撑物上的晶片;

(4)对固定在支撑物上的晶片进行抛光处理;

(5)对抛光后的晶片进行表面清洗处理;

所述抛光处理的抛光液由以下组分组成:2wt%~4wt%的粒径为6nm~10nm氧化硅颗粒,20wt%~30wt%的粒径为30nm~80nm的氧化硅颗粒,6wt%~8wt%的粒径为120nm~

140nm氧化硅颗粒,0.1wt%表面活性剂,1wt%的硫酸钠,氢氧化钠,余量为水,所述抛光液的pH为9.5~10.5;

所述表面活性剂为丙烯酸-丙烯酸酯-磺酸盐共聚物与β-萘酚聚氧乙烯醚按质量比1:1复配构成;

所述半导体材料为蓝宝石;

所述抛光处理的基本参数如下:压力为300克/平方厘米,上盘转速60rpm/min,下盘转速140rpm/min,抛光液流速为70ml/min,温度为25℃,抛光时间为2小时;

所述表面清洗处理包括依次使用去蜡清洗剂、丙酮、无水乙醇、去离子水超声清洗,然后采用冷风将样品吹干。

2.根据权利要求1所述的超精密半导体材料,其特征在于,所述支撑物为刚性的平板。