利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2018111688634
申请人: 山东第一医科大学(山东省医学科学院)
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-04
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种从硅片切割废砂混合物中提取硅粉和碳化硅的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、溶剂溶解去除硅片切割废砂混合物中的包括聚乙二醇的有机杂质:

根据聚乙二醇的溶解性,选择合适的溶剂,将废砂混合物中的有机杂质溶于溶剂中,然后固液分离得到去除有机杂质的废砂混合物的固体和包含聚乙二醇的有机杂质的滤液,滤液采用精馏方法回收溶剂循环使用;

步骤二、酸溶法去除废砂混合物中的铁、不锈钢和二氧化硅杂质:

步骤一制得的去除有机杂质的废砂混合物中所含的铁、不锈钢粉及二氧化硅杂质,采用盐酸溶解处理,将废砂中的铁、不锈钢粉及二氧化硅溶解;经过滤后的固体洗涤至中性、干燥,得到硅和碳化硅的混合物;滤液经过滤去除杂质添加新鲜的盐酸后可循环使用;

步骤三、硅粉和碳化硅的分离提纯:

(1)将步骤二制得的脱除聚乙二醇、铁及不锈钢粉、二氧化硅杂质后的废砂进行清洗、过滤、干燥后得到含有硅粉、碳化硅粉的混合粉料;

(2)在混合粉料中加入密度介于硅和碳化硅间的重质液体进行浮选和离心沉降,使硅粉与碳化硅粉分离;

(3)所得硅粉与碳化硅粉精密过滤提纯,重质液体循环使用。

2.根据权利要求1所述的一种从硅片切割废砂混合物中提取硅粉和碳化硅的方法,其特征在于,所述步骤一中,有机杂质溶解所采用的溶剂选自水、甲醇、乙醇、环己烷、丙酮、氯仿、甘油酯、二氯甲烷中的一种或几种的混合液。

3.根据权利要求1所述的一种从硅片切割废砂混合物中提取硅粉和碳化硅的方法,其特征在于,所述步骤一中,有机杂质溶解去除所采用的溶剂溶剂为环己烷。

4.根据权利要求1所述的一种从硅片切割废砂混合物中提取硅粉和碳化硅的方法,其特征在于,所述步骤一中,聚乙二醇及有机杂质的去除所用溶剂与废砂混合物的液固比为(5~10):1(mL:g),溶解温度为30℃~60℃,溶解时间为10~40min。

5.根据权利要求1所述的一种从硅片切割废砂混合物中提取硅粉和碳化硅的方法,其特征在于,所述步骤二中,采用的盐酸浓度为10%~25%,盐酸溶液与废砂的液固比为(5~

10):1(mL:g);反应温度为40℃~70℃;反应时间为1~3小时。

6.根据权利要求1所述的一种从硅片切割废砂混合物中提取硅粉和碳化硅的方法,其特征在于,步骤三中,混合粉料中加入密度介于硅粉和碳化硅间的重质液体选自重油、植物油、矿物油中的一种或几种的混合物。

7.根据权利要求1所述的一种从硅片切割废砂混合物中提取硅粉和碳化硅的方法,其特征在于,步骤三中,混合粉料中加入密度介于硅粉和碳化硅间的重质液体为矿物油。

8.根据权利要求7所述的一种从硅片切割废砂浆中提取硅粉和碳化硅的方法,其特征在于,步骤三中,使硅粉与碳化硅分离的矿物油的用量为固体混合物质量的5~8倍,分离条件为常温下浮选1~3小时。

9.根据权利要求1所述的一种从硅片切割废砂混合物中提取硅粉和碳化硅的方法,其特征在于,步骤三中,离心沉降的采用离心机转速为2500~3000r/min。