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专利号: 2010102145346
申请人: 比亚迪股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:无效专利
更新日期:2024-12-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种硅片切割废砂浆的回收方法,包括以下步骤:

a.硅片切割废砂浆固液分离,得到固体砂料和液体份;

b.步骤a中得到的液体份中加入脱色剂、离子吸附剂和助滤剂,固液分离,得到聚乙二醇切割回收液;

c.步骤a中得到的固体砂料通过磁选分离去除金属,得到硅与碳化硅的混合物;

d.将步骤c中得到的硅与碳化硅的混合物在1425-1550℃下真空加热;冷却至室温后筛网振动过滤,收集筛下的物质得到碳化硅微粉,收集筛上的物质得到硅块;粉碎硅块得到硅粉。

2.根据权利要求1所述的回收方法,其特征在于:步骤a中,固液分离采用离心分离,离心转速为1000-2000rpm,离心时间20-40min。

3.根据权利要求1所述的回收方法,其特征在于:步骤b中,脱色剂为活性炭和/或过硫酸铵,离子吸附剂为聚丙烯酰胺或聚二甲基二烯丙基氯化铵,助滤剂为硅藻土或珍珠岩;

质量比为液体份∶脱色剂∶离子吸附剂∶助滤剂=(10-5)∶1∶1∶1。

4.根据权利要求1所述的回收方法,其特征在于:步骤d中,真空加热的温度为

1450-1480℃,真空度不高于-0.01MPa;真空加热的时间为3-6h。

5.根据权利要求1或4所述的回收方法,其特征在于:步骤d中,硅与碳化硅的混合物的真空加热过程在坩埚中进行;所述坩埚内层表面覆有氮化硅层,坩埚体材料为石英或氧化铝陶瓷。

6.根据权利要求1或4所述的回收方法,其特征在于:步骤d中,筛网尺寸为100-300目,筛网振动频率为40-80次/min。

7.根据权利要求1所述的回收方法,其特征在于:步骤d中,粉碎硅块的方法为气流粉碎,气流压力为0.5-0.7MPa;气流粉碎的时间为5-20min。