1.用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器，其特征在于，包括传感器基底(1)，传感器基底(1)上表面为电流感应薄膜(2)，用于输出传感器响应电流，所述传感器基底(1)下表面为粘合材料层(3)，用于固定传感器基底(1)，电流感应薄膜(2)上设置有气敏探针阵列(4)，气敏探针阵列(4)外部涂覆有无定型氟聚合物层(5)；

所述粘合材料层(3)为低渗透性的聚丙烯薄膜；

所述气敏探针阵列(4)材料为对氟原子敏感的叶绿素，气敏探针阵列(4)利用等离子体化学气相沉积法制备而成；

所述气敏探针阵列(4)的探针长度为亚微米级。

2.根据权利要求1所述的用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器，其特征在于，所述传感器基底(1)采用聚四氟乙烯或者液态硅胶材料制成。

3.根据权利要求1所述的用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器，其特征在于，所述电流感应薄膜(2)采用金属材料制成，通过屏蔽电缆输出响应电流。