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专利号: 2019102343668
申请人: 岭南师范学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单晶颗粒薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S101:选取导电玻璃作为衬底;

S102:选取单晶颗粒在去离子水中搅拌分散;

S103:待单晶颗粒沉淀后,抽干容器中的去离子水,取出导电玻璃片烘干,得到单晶颗粒薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种单晶颗粒薄膜的制备方法,其特征在于,在步骤S101中,所述的导电玻璃为钼玻璃。

3.根据权利要求1所述的一种单晶颗粒薄膜的制备方法,其特征在于,在步骤S102中,抽水速度为50~300ml/min。

4.根据权利要求1所述的一种单晶颗粒薄膜的制备方法,其特征在于,在步骤S102中,所述的单晶颗粒的粒径范围为0.1μm~5μm。

5.根据权利要求1所述的一种单晶颗粒薄膜的制备方法,其特征在于,在步骤S102中,所述的单晶颗粒与去离子水的比例为1g/100ml~15g/100ml。

6.权利要求1-5任一所述的方法制备得到单晶颗粒薄膜。

7.一种气体传感器,其特征在于,含有权利要求6所述的单晶颗粒薄膜。

8.一种气体传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S201:将制备好的单晶颗粒薄膜在真空中进行第一次退火;

S202:利用液相法在单晶颗粒薄膜制备ZnO薄膜层;

S203:将制备了ZnO层的CZTS薄膜在真空中进行第二次退火;

S204:利用银浆在ZnO层上制备电极,得到气体传感器。

9.根据权利要求8所述的一种气体传感器的制备方法,其特征在于,在步骤S201中,第一次退火温度为400℃~550℃,退火时间为2h~4h,在步骤S203中,第二次退火温度为100℃~200℃,退火时间为0.5h~3h。

10.根据权利要求8或9所述的一种气体传感器的制备方法,其特征在于,在步骤S203中,所述的ZnO层厚度为150nm~400nm。