利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2019102343668
申请人: 岭南师范学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种气体传感器,其特征在于,含单晶颗粒薄膜,所述单晶颗粒薄膜的制备方法包括以下步骤:

S101:选取导电玻璃作为衬底;

S102:选取粒径范围为0.1μm~5μm的单晶颗粒在去离子水中搅拌分散,单晶颗粒与去离子水的比例为1g/100ml~15g/100ml;

S103:待单晶颗粒沉淀后,抽干容器中的去离子水,抽水速度为50~300ml/min,取出导电玻璃片烘干,得到单晶颗粒薄膜;

所述气体传感器的制备方法包括以下步骤:S201:将制备好的单晶颗粒薄膜在真空中进行第一次退火,退火温度为400℃~550℃,退火时间为2h~4h;

S202:利用液相法在单晶颗粒薄膜制备ZnO薄膜层;

S203:将制备了ZnO层的薄膜在真空中进行第二次退火,退火温度为100℃~200℃,退火时间为0.5h~3h;

S204:利用银浆在ZnO层上制备电极,得到气体传感器。

2.根据权利要求1所述的一种气体传感器,其特征在于,在步骤S101中,所述的导电玻璃为钼玻璃。

3.根据权利要求1所述的一种气体传感器,其特征在于,在步骤S203中,ZnO层厚度为

150nm~400nm。