1.一种晶圆级镜头模组,其特征在于,包括晶圆层、电荷耦合组件图像传感器、镜片组、间隔组件、抗反射滤光层、遮光层、电磁屏蔽层,所述电荷耦合组件图像传感器由晶圆级光学制程在晶圆层上制得,所述间隔组件设于电荷耦合组件图像传感器上,所述镜片组由多片镜片贴合而成,镜片组的边缘镀有抗反射滤光层,抗反射滤光层上镀有遮光层,所述遮光层为氮化铬,遮光层上涂覆有电磁屏蔽层,所述电磁屏蔽层由电磁屏蔽涂料涂覆干燥制得;
所述电磁屏蔽涂料由填料:成膜树脂:稀释剂:偶联剂:分散剂按质量比例150-200:100:30-
50:1:3混合制得;所述填料为表面改性MXene;所述成膜树脂为环氧树脂;所述偶联剂为硅烷偶联剂;所述分散剂为有机膨润土;
所述表面改性MXene包括MXene载体和负载层,负载层包括氧化锌相、碳相和二氧化钛相;所述MXene载体为烧结碳化钛铝经含锂离子的氢氟酸溶液刻蚀得到;所述碳相和二氧化钛相由MXene载体经二氧化碳高温氧化得到;所述氧化锌相由MXene载体经锌离子负载、水合肼还原、二氧化碳高温氧化得到;
所述电磁屏蔽涂料的制备包括以下步骤:
步骤1、分别称取过300目筛的钛粉5份,铝粉3份,碳化钛粉末20份,将称取的粉末分散在无水乙醇中,入球磨机球磨24h后,烘干样品,压入石墨模具,在氩气保护气氛下,升温至
1400℃,保持温度煅烧2h,待自然冷却至室温后得到碳化钛铝烧结块,经粉碎、研磨、过500目筛,得到碳化钛铝粉末;
步骤2、在冷的PTFE材质容器中加入LiF 1g,缓慢加入20ml 10mol/L的盐酸溶液,搅拌
30min,称取1g碳化钛铝粉末,控制温度在50℃以下,分多次地缓慢加入上述溶液,添加完毕后35℃保温72h,每6h摇动一次,反应结束后,重复离心、洗涤至洗涤液呈中性,干燥沉淀,得到MXene载体;
步骤3、在100ml去离子水中加入2g由步骤2制得的MXene载体,超声破碎处理2min,超声功率270W,超声时间:停止时间为1s:2s,然后加入0.86g无水氯化锌,0.36g十六烷基三甲基溴化铵,搅拌溶解,氨水调节溶液pH至10,搅拌30min,得到悬浮液A,50ml去离子水中加入十六烷基三甲基溴化铵0.18g,水合肼5g,得到溶液B,将溶液B缓慢加入到悬浮液A中,搅动2h,交替用无水乙醇和蒸馏水进行多次洗涤,50℃烘干得到载锌MXene载体;
步骤4、称取0.2g载锌MXene载体,在氩气保护气氛下,升温至600℃,保温45min,温度升至750℃,保温15min,切换气氛为二氧化碳气体,气体流量为150ml/min,保温60min,切换气氛为氩气,自冷至室温后,得到表面改1性MXene;
步骤5、表面改性MXene与环氧树脂、乙酸乙酯、硅烷偶联剂、有机膨润土以质量比例
200:100:50:1:3混合,制得电磁屏蔽涂料。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆级镜头模组,其特征在于,所述含锂离子的氢氟酸溶液为溶有氟化锂的浓盐酸溶液,氟化锂浓度为0.05g/ml。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆级镜头模组,其特征在于,所述烧结碳化钛铝由钛、铝、碳化钛按质量比5:3:20经高温烧结制得。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆级镜头模组,其特征在于,所述二氧化碳高温氧化的过程温度为850℃,保温时间60min,二氧化碳流量150ml/min。