1.一种LIGBT型高压ESD保护器件,包括衬底层(101)及埋氧层(102),所述埋氧层(102)覆盖于所述衬底层(101)上方,其特征在于:所述埋氧层(102)上方覆盖设置有漂移层(103),所述漂移层(103)的上端分别设置有相分离的漏极阱(104)与源极阱(105),所述漂移层(103)的上端面覆盖设置有多晶硅栅极(106),所述漂移层(103)的上端形成有掺杂区(108),所述掺杂区(108)位于所述漏极阱(104)与所述源极阱(105)之间,所述漏极阱(104)的上端形成有漏极重掺杂区(107),所述源极阱(105)的上端分别形成有第一源极重掺杂区(109)、第二源极重掺杂区(110)以及第三源极重掺杂区(111),所述漂移层(103)的上端面还覆盖设置有多个用于不同掺杂区域间隔离的场氧隔离区;所述漏极重掺杂区(107)与漏极外接导线相连,所述掺杂区(108)与第三源极重掺杂区(111)二者导线相连,所述多晶硅栅极(106)、第一源极重掺杂区(109)以及第二源极重掺杂区(110)三者导线相连接地。
2.根据权利要求1所述的一种LIGBT型高压ESD保护器件,其特征在于:所述衬底层(101)为SOI硅衬底。
3.根据权利要求1所述的一种LIGBT型高压ESD保护器件,其特征在于:所述掺杂区(108)的长度可调,所述掺杂区(108)到所述源极阱(105)之间的距离可调。
4.根据权利要求1所述的一种LIGBT型高压ESD保护器件,其特征在于:所述掺杂区(108)的掺杂浓度与所述漏极阱(104)的掺杂浓度相等。
5.根据权利要求1所述的一种LIGBT型高压ESD保护器件,其特征在于:所述场氧隔离区包括第一场氧隔离区(112)、第二场氧隔离区(113)、第三场氧隔离区(114)、第四场氧隔离区(115)、第五场氧隔离区(116)以及第六场氧隔离区(117),所述漏极重掺杂区(107)位于所述第一场氧隔离区(112)与第二场氧隔离区(113)之间,所述第二场氧隔离区(113)位于所述漏极重掺杂区(107)与掺杂区(108)之间,所述第三场氧隔离区(114)位于所述掺杂区(108)与源极阱(105)之间,所述第四场氧隔离区(115)位于所述第一源极重掺杂区(109)与第二源极重掺杂区(110)之间,所述第五场氧隔离区(116)位于所述第二源极重掺杂区(110)与第三源极重掺杂区(111),所述第三源极重掺杂区(111)位于所述第五场氧隔离区(116)与第六场氧隔离区(117)之间。
6.根据权利要求5所述的一种LIGBT型高压ESD保护器件,其特征在于:所述第三场氧隔离区(114)的长度与所述掺杂区(108)到源极阱(105)之间的距离相同。
7.根据权利要求5所述的一种LIGBT型高压ESD保护器件,其特征在于:所述源极阱(105)靠近掺杂区(108)一侧的上端面覆盖设置有薄栅氧化层(118),所述多晶硅栅极(106)覆盖设置于所述薄栅氧化层(118)及第三场氧隔离区(114)的上端面。
8.根据权利要求1所述的一种LIGBT型高压ESD保护器件,其特征在于:所述漏极阱(104)的导电类型为N型,所述源极阱(105)的导电类型为P型,所述漏极重掺杂区(107)、掺杂区(108)、第二源极重掺杂区(110)以及第三源极重掺杂区(111)四者的导电类型均为P型,所述第一源极重掺杂区(109)的导电类型为N型。
9.根据权利要求1所述的一种LIGBT型高压ESD保护器件,其特征在于:所述漏极重掺杂区(107)、漂移层(103)、源极阱(105)以及第一源极重掺杂区(109)四者共同构成PNPN结构的第一ESD电流泄放路径。
10.根据权利要求1所述的一种LIGBT型高压ESD保护器件,其特征在于:所述源极阱(105)上设置有寄生电阻,所述漏极重掺杂区(107)、漏极阱(104)、漂移层(103)以及掺杂区(108)四者共同构成一个寄生PNP晶体管,所述寄生PNP晶体管与寄生电阻串联形成第二ESD电流泄放路径。