1.一种硅光子晶体波导器件的飞秒激光制备系统，其特征在于：包括飞秒激光器（1）、多级半波片（2）、偏振分光棱镜（3）、第一反射镜（4）、空间光调制器（5）、第一透镜（6）、第二反射镜（7）、第三反射镜（8）、第二透镜（9）、电动翻转镜（10）、第四反射镜（11）、高倍物镜（12）、三维加工平台（13）、第三透镜（14）、CCD相机（15）、计算机（16）；

所述飞秒激光器（1）发出的飞秒脉冲激光光束依次经过所述多级半波片（2）、偏振分光棱镜（3）第一反射镜（4）、空间光调制器（5）、第一透镜（6）、第二反射镜（7）、第三反射镜（8）后射入所述第二透镜（9）；

所述电动翻转镜（10）可升降地设置在为所述第二透镜（9）、第四反射镜（11）之间；当所述电动翻转镜（10）升起在所述第二透镜（9）、第四反射镜（11）之间后，从所述第二透镜（9）射出的光经所述电动翻转镜（10）反射后经过所述第三透镜（14）聚焦到所述CCD相机（15）；

当所述电动翻转镜（10）降下后，从所述第二透镜（9）射出的光经过所述第四反射镜（11），射入所述高倍物镜（12），经过所述高倍物镜（12）聚焦到放置在所述三维加工平台（13）上的硅基片上，完成孔加工任务；

所述计算机（16）依次与所述飞秒激光器（1）、空间光调制器（5）、三维加工平台（13）、CCD相机（15）连接；用于控制所述飞秒激光器（1）、发出飞秒脉冲激光；用于调整多光束间距，阵列图案，生成对应全息图并加载到所述空间光调制器（5）中；用于控制所述三维加工平台（13）运动；用于观察光束的数量及分布。

2.根据权利要求1所述的硅光子晶体波导器件的飞秒激光制备系统，其特征在于：所述第一反射镜（4）、第二反射镜（7）、第三反射镜（8）、电动翻转镜（10）、第四反射镜（11）均为

45°镜，用于改变光束传播方向。

3.一种硅光子晶体波导器件的飞秒激光制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：利用计算机（16）控制飞秒激光器（1）发出飞秒脉冲激光，通过多级半波片（2）和偏振分光棱镜（3），经过第一反射镜（4）射入空间光调制器（5）；

步骤2：利用计算机（16）将加工方案生成全息图，加载到空间光调制器（5）中；

步骤3：光束经空间光调制器（5）调制后通过第一透镜（6）、第二反射镜（7）、第三反射镜（8）、第二透镜（9）、第四反射镜（11），再经过高倍物镜（12）聚焦到放置在三维加工平台（13）上的硅基片上，通过计算机（16）控制三维加工平台（13）移动，完成加工任务；

步骤3中，光束经空间光调制器（5）调制后通过第一透镜（6）、第二反射镜（7）、第三反射镜（8）、第二透镜（9），再使用电动翻转镜（10）将多光束经过第三透镜（14）聚焦到CCD相机（15），在计算机（16）中观察多光束的数量以及分布情况，检查是否有错误，如有误，则在计算机（16）内进行修改，如无误，则进行后续操作。

4.根据权利要求3所述的硅光子晶体波导器件的飞秒激光制备方法，其特征在于：步骤

3中，将加工出孔的硅基片放入真空操作箱中，真空操作箱中还放置有一个匀胶机、一个可调厚度控制平台和紫外固化灯，真空操作箱底部设置有一个加热器；在真空操作环境中，将SU8胶注入孔中；开启匀胶机将SU8胶均匀旋涂，再将硅基片从匀胶机中取出，将多余的SU8胶去除，使SU8胶能够将孔充满；开启紫外固化灯，进行固化照射，进行初步定型；开启加热器加热，使SU8胶彻底凝固定型。