1.一种空间光路的光栅尺标定装置,其特征在于,该标定装置包括运动台(7)和测量装置,所述运动台处于封闭的微环境区域(10)内,所述测量装置设置于运动台上,随运动台运动;
所述测量装置包括具有第一平面和第二平面的承载台(913),所述第一平面与第二平面相互平行;所述第一平面向所述第二平面凹陷形成一凹槽结构,在所述凹槽结构的底面上设置有4个平面光栅,每个所述平面光栅分别处于一四边形的顶点处;在每个所述平面光栅的上方设置有一读头;
所述承载台的相对的两侧面的外侧各设置有一个第二反射镜(906),所述第二反射镜设置于该第二反射镜所在侧面的上区域,由所述上区域边沿向所述第二平面延伸形成第四反射镜(905),所述第四反射镜与所述第二反射镜的夹角大于90°;所述承载台的另外两相对的侧面的其中一个侧面的外侧设置有第一反射镜(907);
所述测量装置还包括第一干涉仪(901)、第二干涉仪(903)和第三干涉仪(902),所述第二干涉仪与第三干涉仪与第二反射镜同侧设置,所述第一干涉仪与第一反射镜同侧设置;
所述测量装置还包括两个第三反射镜,第二干涉仪与第三干涉仪发出的光线的一部分经第四反射镜反射进入到第三反射镜。
2.根据权利要求1所述的一种空间光路的光栅尺标定装置,其特征在于,该标定装置还包括框架(8)和平台(3),所述框架设置于所述平台上,所述框架围绕所述测量装置设置;所述框架处于所述微环境区域(10)内,所述读头固定于所述框架上。
3.根据权利要求1所述的一种空间光路的光栅尺标定装置,其特征在于,4个所述读头处于同一平面。
4.根据权利要求3所述的一种空间光路的光栅尺标定装置,其特征在于,所述四边形为矩形或正方形。
5.根据权利要求4所述的一种空间光路的光栅尺标定装置,其特征在于,两相邻的读头对称设置。
6.根据权利要求4所述的一种空间光路的光栅尺标定装置,其特征在于,靠近第二干涉仪的两读头的连线与两所述第三反射镜的连线相互垂直。
7.根据权利要求4所述的一种空间光路的光栅尺标定装置,其特征在于,靠近第二干涉仪的两读头的连线为两所述第三反射镜的连线的垂直平分线。
8.一种如权利要求1~7任意一项所述的标定装置的标定方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,在运动台的行程范围内设置测量路径,在路径上以一定间隔选取测量点;
步骤2,沿着规划的路径在选取的测量点处读取测量读头的计数值,获得每个测量读头的位移;
步骤3,由其中3个读头的位移运动台位置,
P=K*S3
其中,P为运动台位置,K为运动台位移的系数矩阵,S3为3个读头的位移矩阵;
步骤4,由运动台位置P计算第4个读头的位移,
S4calc=K-1*P
其中,S4calc表示计算的第4个读头的位移;
步骤5,将计算的第4个读头的位移和实测位移作差,得到读头4的位移差值;
Ds4=S4calc-S4act
其中,S4act表示第4个测量读头的实际位移;
步骤6,使用位移差值拟合与X、Y向位置相关系数
Ds4=a*X+b*Y+C
步骤7,在行程范围内规划网格,计算网格点位置处的第4个读头的位移面型,S4new=a*Xm+b*Ym+C其中,S4new表示计算的第4个读头的位移面型,Xm、Ym分别为选取网格点的X、Y坐标。