1.一种大型ITO靶材储存箱,包括主箱体(2)、存储腔体(11)和移动柜(14),其特征在于:所述主箱体(2)的底端固定安装有固定支腿(1),所述主箱体(2)的表面通过合页安装有密封门体(7),所述密封门体(7)的表面通过销轴安装有曲柄把手(4),且曲柄把手(4)的一端向外延伸,所述密封门体(7)一侧的主箱体(2)表面焊接有卡环(3),所述主箱体(2)的内部设置有存储腔体(11),所述存储腔体(11)内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板(9),所述存储腔体(11)的内部活动安装有移动柜(14),且移动柜(14)的表面设置有凹槽(13),所述移动柜(14)的内部均匀设置有存放隔腔(20),所述存放隔腔(20)的内部皆活动安装有转运架(18)。
2.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱,其特征在于:所述固定支腿(1)的表面套接有减震弹簧(6),且减震弹簧(6)的两端皆焊接有固定支腿(1)表面。
3.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱,其特征在于:所述存储腔体(11)的内部底端固定安装有防潮板(16),防潮板(16)两侧的存储腔体(11)内部皆固定安装有限位滑槽(12),限位滑槽(12)的表面限位安装有梯形滑块(1201),且梯形滑块(1201)与移动柜(14)底端固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱,其特征在于:所述限位门板(9)内表面与存储腔体(11)的内壁表面皆固定安装有缓冲板(1001),缓冲板(1001)的表面皆固定安装有复位弹簧(1002),且复位弹簧(1002)的末端表面固定安装有挤压胶板(10)。
5.根据权利要求4所述的一种大型ITO靶材储存箱,其特征在于:所述挤压胶板(10)两侧的存储腔体(11)内壁表面皆固定安装有弹性气囊(15),且弹性气囊(15)的厚度自外而内缓缓增大。
6.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱,其特征在于:所述转运架(18)的顶端焊接有搭板(21),搭板(21)的表面焊接有拉环(19),且转运架(18)的底端固定安装有橡胶支垫(1802),且橡胶支垫(1802)的内部设置有限位槽。
7.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱,其特征在于:所述转运架(18)的表面边缘处设置有四个U型滑槽(1801),存放隔腔(20)的内壁表面固定安装有四个U型滑板(17)。
8.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱,其特征在于:所述曲柄把手(4)一侧的密封门体(7)表面固定安装有卡槽板(8),主箱体(2)的顶端设置有放置槽(5)。