利索能及
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专利号: 2018107488033
申请人: 电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种槽栅双极型晶体管,其元胞结构包括从下至上依次层叠设置金属化集电极(11)、P+集电极区(10)、N+缓存层(9)和N-漂移区(1);所述N-漂移区(1)上层外围具有闭合的沟槽栅结构,在N-漂移区(1)上层两侧还分别具有呈对称分布的P型基区(2)、N+发射区(6)和P+接触区(7),其中P型基区(2)和N+发射区(6)与沟槽栅接触,P型基区(2)位于N+发射区(6)和P+接触区(7)下方,N+发射区(6)和P+接触区(7)并列设置;在N+发射区(6)和P+接触区(7)上表面还具有金属化发射极(8);在N-漂移区(1)上层中部还具有沟槽栅结构,使每个元胞上层形成2个由沟槽栅闭合的区域;其特征在于,所述P型基区(2)的结深小于沟槽栅的结深,沿器件横向方向,P型基区(2)的宽度小于N+发射区(6)和P+接触区(7)的宽度;器件元胞的布局规则为:以器件的俯视平面建立平面直角坐标系,沿水平方向,每个元胞并列排列,沿垂直方向,相邻元胞之间以水平方向偏离半个元胞长度为基准,呈交错分布。