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专利号: 201510998522X
申请人: 电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.超高速大电流横向绝缘栅双极型晶体管,包括硅衬底(1)和设置于硅衬底(1)和埋氧(18)上方的漂移区(2)、沟道区(3)、欧姆接触重掺杂区(4)、阴极(5)、栅极介质(8)、阳极引出线(10)、栅极(11)、阴极引出线(12)、阳极(13),其特征在于,漂移区(2)在阳极(13)与沟道区(3)之间的部分的上表面,设置有电场加强单元(20),所述电场加强单元(20)用于产生一个从阳极指向电场加强单元下表面的电场;

电场加强单元(20)通过绝缘介质(6)与漂移区(2)隔离。

2.如权利要求1所述的超高速大电流横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述电场单元(20)包括:高阻导电区(7),

与高阻导电区(7)连接,且处于高阻导电区(7)靠近阳极(13)的一侧的加速栅极重掺杂区(15),与高阻导电区(7)连接,且处于高阻导电区(7)靠近沟道区(3)一侧的接地掺杂区(16),与加速栅极重掺杂区(15)连接的加速栅极(9),与接地掺杂区(16)连接的接地电极(17)。

3.如权利要求2所述的超高速大电流横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述加速栅极重掺杂区(15)的材质为N+型材料,接地掺杂区(16)的材质为P型材料。

4.如权利要求2所述的超高速大电流横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述加速栅极重掺杂区(15)在漂移区(2)的上表面所在平面上的投影与阳极(13)在漂移区(2)上表面所在平面上的投影有重合或者相切。

5.如权利要求2所述的超高速大电流横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,接地掺杂区(16)在漂移区(2)的上表面所在平面上的投影与沟道区(3)在漂移区(2)上表面所在平面上的投影有重合或者相切。

6.如权利要求1所述的超高速大电流横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述电场加强单元(20)嵌入绝缘介质(6)内,绝缘介质(6)将电场加强单元(20)与晶体管的其他部分隔离。