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专利号: 2018104576117
申请人: 湖北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于GeTe的双功能器件,其特征在于:所述器件包括三层结构:顶电极、GeTe薄膜介质层和底电极。

2.根据权利要求1所述的基于GeTe的双功能器件,其特征在于:所述顶电极由W制成,所述顶电极的厚度为50~500nm,形状为圆形或者矩形,直径或边长为10nm~50μm。

3.根据权利要求1所述的基于GeTe的双功能器件,其特征在于:所述GeTe薄膜介质层厚度为5~200nm。

4.根据权利要求3所述的基于GeTe的双功能器件,其特征在于:所述GeTe薄膜介质层形状为圆形或者矩形,直径或边长为10nm~50μm。

5.根据权利要求1所述的基于GeTe的双功能器件,其特征在于:所述底电极由FTO、ITO、ZTO、TaN、或TiN制成,所述底电极的厚度为50~500nm,形状为圆形或者矩形,直径或边长为

10nm~50μm。

6.根据权利要求1所述的基于GeTe的双功能器件,其特征在于:实现常规阻变功能时,器件的操作电流限制范围为10μA~5mA。

7.根据权利要求1所述的基于GeTe的双功能器件,其特征在于:实现互补型阻变功能时,器件的操作电流限制范围为5mA~100mA。

8.一种制备权利要求1~7任一项所述的基于GeTe的双功能器件的方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:

在基底上制备所述底电极;在底电极上表面制备GeTe薄膜介质层;在GeTe薄膜介质层上表面镀上顶电极。

9.根据权利要求8所述的基于GeTe的双功能器件的方法,其特征在于:所述方法具体采用磁控溅射的方法在底电极FTO、ITO、ZTO、TaN、或TiN上表面制备GeTe薄膜介质层,溅射靶材为GeTe靶,采用射频溅射,衬底温度为300K,反应气体为氩气,控制真空室内的气压为

4Torr,射频溅射功率为120W。

10.根据权利要求8所述的基于GeTe的双功能器件的方法,其特征在于:所述方法具体采用磁控溅射的方法在GeTe薄膜介质层上表面制备W顶层导电电极,溅射靶材为W靶,采用直流溅射,衬底温度为300K,反应气体为氩气,控制真空室内的气压为4Torr,直流溅射功率为100W。