1.一种低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料,其特征在于,由以下质量比组分原料烧结制成:非晶SiO2粉末︰MgF2粉末︰MnCO3粉末=1︰(0.05-x)︰x,0.015≤x≤0.03,所述低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料的主物相是晶态SiO2。
2.根据权利要求1所述的低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料,其特征在于,所述低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料的介电常数为2.6~3.0,品质因数为32540~56182GHz,谐振频率温度系数为-23~-37ppm/℃。
3.根据权利要求1所述的低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料,其特征在于,所述非晶SiO2粉末的纯度大于99%,结晶度为0~10%,粒度为700~800nm。
4.根据权利要求1所述的低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料,其特征在于,所述MgF2粉末和MnCO3粉末为分析纯。
5.一种低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、按比例混合MgF2粉末和MnCO3粉末,并进行加热保温处理得到复合助烧剂粉末;S2、按比例混合复合助烧剂粉末与非晶SiO2粉末进行湿法球磨得到混合物;S3、烘干步骤S2获得的混合物并造粒压制成坯料,将坯料进行烧结得到陶瓷材料,各原料粉末的质量比为非晶SiO2粉末︰MgF2粉末︰MnCO3粉末=1︰(0.05-x)︰x,0.015≤x≤0.03。
6.根据权利要求5所述的低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S1的混合MgF2粉末和MnCO3粉末是采用干法卧式滚磨,滚磨时间3~5h。
7.根据权利要求5所述的低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S1的加热保温处理为加热至525~675℃,保温时间为10~30min,保温结束后随炉冷却。
8.根据权利要求5所述的低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S2是混合复合助烧剂粉末以乙醇为介质进行湿法球磨1~2h,然后添加非晶SiO2粉末进行湿法球磨8~12h。
9.根据权利要求5所述的低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述步骤S3造粒是以烘干步骤S2获得的混合物质量的2.5~5%添加粘结剂进行造粒,所述粘结剂为聚乙烯醇或石蜡,占所述粘结剂总质量的40~60%的粘结剂与烘干步骤S2获得的混合物混合,其余粘结剂在造粒过程中缓慢逐滴加入。
10.根据权利要求5所述的低温烧结SiO2基微波介质陶瓷材料的制备方法,其特征在于,所述烧结时烧成温度为1080~1180℃,保温时间为3~5h,保温结束后以1~2℃/min的降温速率冷却至800~850℃,然后随炉冷却。