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专利号: 2018103335096
申请人: 宁波德深机械设备有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-04-28
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.自动清洗设备,包括盛有清洗液的清洗筒,其特征在于:所述清洗筒上设有回流机构,所述回流机构用于搅动清洗筒内的清洗液,所述清洗筒内还设有多个互不相连的钢网囊,所述钢网囊内均设有用于包裹硅片的软质网膜,所述软质网膜与钢网囊互不相连,所述钢网囊内均设有抖动机构,所述抖动机构包括多个弹性件,所述弹性件一端连接在钢网囊的内壁上,所述抖动机构上固设有夹持部,所述夹持部包括夹头,所述夹头用于卡夹硅片,所述夹头夹持硅片的端部上粘接有软膜,所述弹性件另一端连接在夹持部上,所述弹性件以夹持部为中心点均匀分布。

2.根据权利要求1所述的自动清洗设备,其特征在于:所述夹头上设有夹持检测模块和执行模块,所述夹持检测模块用于检测硅片的脱落信号,所述执行模块根据脱落信号让夹头夹紧硅片。

3.根据权利要求2所述的自动清洗设备,其特征在于:所述夹头包括对称设置的夹柱,所述夹柱端部开设有半球形的滚槽,所述夹持检测模块包括滚动配合在滚槽内的滚球,所述滚球上固设有多个轮齿,所述滚槽内壁的夹柱上开设有滑槽和插孔,所述夹柱的中部开设有滑道,所述执行模块包括滑动配合在滑槽内的齿条和滑动配合在滑道内的配重板,所述齿条上连接有凸柱,所述齿条可与轮齿啮合,所述齿条与配重板间设有液压管,所述液压管一端可被凸柱抵到,所述液压管另一端通过T型的活塞连接配重板,所述液压管绕在滑轮上,所示液压管与配重板间达到受力平衡,所述配重板上固设有可穿过插孔抵到滚球的插柱。

4.根据权利要求3所述的自动清洗设备,其特征在于:所述配重板与滑道的内壁间连接有压簧,所述压簧在液压管未被凸柱抵到时被配重板压住处于压缩状态。

5.根据权利要求1所述的自动清洗设备,其特征在于:所述钢网囊包括相互交错形成网状的螺旋条,所述螺旋条由不锈钢钢丝卷曲形成。

6.根据权利要求1所述的自动清洗设备,其特征在于:所述软质网膜上开设有开口,所述开口处的软质网膜中填充有磁铁。