1.一种FePt-MgO磁记录薄膜,包括基片、沉积于所述基片上的垫层和沉积于所述垫层上的磁性层,其特征在于:所述基片为Si基片,所述垫层为MgO垫层,所述磁性层包括MgO嵌裹层和嵌裹于所述MgO嵌裹层中的FePt纳米台阵列,FePt纳米台一端固定在MgO垫层上,另一端伸出MgO嵌裹层。
2.根据权利要求1所述的FePt-MgO磁记录薄膜,其特征在于:所述MgO垫层的厚度为5~
50nm。
3.根据权利要求1所述的FePt-MgO磁记录薄膜,其特征在于:所述磁性层中Fe和Pt的原子比例为45∶55~55∶45;所述MgO嵌裹层的厚度为1~5nm。
4.一种FePt-MgO磁记录薄膜的制备方法,其特征在于包括如下步骤:
1)制备MgO垫层,在基片上通过真空磁控溅射镀膜法沉积5~50nm厚的MgO垫层;
2)制备磁性层,采用磁控溅射法在MgO垫层上交替溅射FePt-MgO混层和MgO嵌裹层,交替溅射完成后再在最上层的MgO嵌裹层上溅射一层FePt-MgO混层,得到由基片、MgO垫层、FePt-MgO混层和MgO嵌裹层组成的溅射态薄膜;
所述FePt-MgO混层中Fe和Pt的原子比例为45∶55~55∶45,FePt的等效厚度为5~10nm,MgO的体积含量为FePt有效体积的1~5%;
3)将所述溅射态薄膜置于真空环境中进行退火处理,退火温度为700~900℃,退火时间为1~3h,使得FePt发生A1向L10转变,并与MgO嵌裹隔层混合后发生相分离,L10-FePt外伸形成纳米台阵列,根部被MgO嵌裹层包裹固定于MgO垫层上,制得FePt-MgO磁记录薄膜。
5.根据权利要求4所述的FePt-MgO磁记录薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤1)中溅射时基片温度为50~250℃,溅射腔的背底真空度为10-6~10-4Pa,氩气气压为1~5Pa。
6.根据权利要求4或5所述的FePt-MgO磁记录薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤
2)中溅射FePt-MgO混层时的温度为350~450℃,溅射MgO嵌裹层时的温度为50~250℃。
7.根据权利要求4或5所述的FePt-MgO磁记录薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤
2)中交替溅射的次数为2~20次。
8.根据权利要求4或5所述的FePt-MgO磁记录薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤
3)中所述真空环境的真空度为10-5~9×10-5Pa。
9.根据权利要求4或5所述的FePt-MgO磁记录薄膜的制备方法,其特征在于:所述步骤
2)中溅射所用的Fe靶、Pt靶和MgO靶的纯度不低于99.95%。