1.一种垂直扫描测量白光干涉测头，其特征在于：包括白光显微干涉装置（3）、垂直运动装置（2）、双光栅位移计量装置（1）、图像采集系统（9）、信号处理系统（7）和计算机控制系统（8）；

所述白光显微干涉装置（3）包括用于发出光束的照明光路（4）、用于接收光束并产生干涉条纹的显微干涉组件（5）和用于摄像并能够呈现出白光干涉图像的CCD图像拾取组件（6）；显微干涉组件（5）包括Mirau干涉显微镜（501），白光干涉图像经图像采集系统（9）采集后，输送至计算机控制系统（8）；

所述垂直运动装置（2）包括垂直运动组件（201），其包括外平台和设置在外平台内的能够沿与待测工件（10）表面平行的方向作微运动的内平台，Mirau干涉显微镜（501）与内平台固定连接；垂直运动组件（201）上还设有压电陶瓷（202），压电陶瓷（202）在压电陶瓷微位移器驱动电源的驱动下能够带动内平台作微运动，从而带动Mirau干涉显微镜（501）运动，完成对待测工件（10）表面的垂直扫描测量，压电陶瓷微位移器驱动电源由计算机控制系统（8）控制；所述双光栅位移计量装置（1）与内平台固定连接，双光栅位移计量装置（1）在内平台的驱动下产生周期移动的干涉条纹并传输至信号处理系统（7），信号处理系统（7）进行处理后得到垂直运动组件（201）的内平台的实时位移，并传输至计算机控制系统（8）；

计算机控制系统（8）通过处理白光干涉图像和垂直运动组件（201）的内平台的位移，得到待测工件（10）表面的三维形貌。

2.根据权利要求1所述的一种垂直扫描测量白光干涉测头，其特征在于：所述照明光路（4）包括白光光源（401）、光源支架（402）、第一照明光路镜筒（403）、第二照明光路镜筒（404）、照明光路镜筒支架（405）、照明光路支承板（406）、透镜组（407）、孔径光阑（408）、视场光阑（409）、第一反射镜（410）和第一透镜（411）；所述白光光源（401）固设在光源支架（402）上，光源支架（402）与第一照明光路镜筒（403）的一端可拆卸固定连接，第一照明光路镜筒（403）的另一端与第二照明光路镜筒（404）的一端可拆卸固定连接，第二照明光路镜筒（404）的另一端固设在照明光路镜筒支架（405）上，照明光路镜筒支架（405）固设在照明光路支承板（406）上，照明光路镜筒支架（405）的侧面开设有通孔A，透镜组（407）安装在第一照明光路镜筒（403）内，孔径光阑（408）和视场光阑（409）从上往下依次安装在第二照明光路镜筒（404）内，第一反射镜（410）设置在照明光路镜筒支架（405）内，第一透镜（411）安装在照明光路镜筒支架（405）内部靠近通孔A的位置，照明光路支承板（406）安装在垂直运动组件（201）一侧。

3.根据权利要求2所述的一种垂直扫描测量白光干涉测头，其特征在于：所述显微干涉组件（5）还包括显微镜支架（502）、第二反射镜（503）和分光镜（504），Mirau干涉显微镜（501）固设在显微镜支架（502）上，显微镜支架（502）与内平台固定连接，在压电陶瓷（202）驱动内平台运动时，显微镜支架（502）跟随内平台同步运动，从而带动Mirau干涉显微镜（501）运动，完成对待测工件（10）表面的垂直扫描测量；所述垂直运动组件（201）上开设有矩形槽，第二反射镜（503）安装在矩形槽内部的上端，分光镜（504）安装在矩形槽内部的下端，第一透镜（411）的光轴经过分光镜（504）的中心点。

4.根据权利要求3所述的一种垂直扫描测量白光干涉测头，其特征在于：所述CCD图像拾取组件（6）包括CCD相机（601）、CCD相机架（602）、第二透镜（603）、第三反射镜（604）、图像拾取光路镜筒（605）、图像拾取光路镜筒支架（606）和图像拾取光路支撑板（607），图像拾取光路镜筒支架（606）的侧面开设有通孔B，CCD相机（601）固设在CCD相机架（602）的一端，CCD相机架（602）的另一端与图像拾取光路镜筒（605）的一端可拆卸固定连接，图像拾取光路镜筒（605）的另一端固设在图像拾取光路镜筒支架（606）上，图像拾取光路镜筒支架（606）固设在图像拾取光路支撑板（607）上，透镜（603）安装在图像拾取光路镜筒（605）内，第三反射镜（604）安装在图像拾取光路镜筒支架（606）内，第三反射镜（604）的反射面与第二反射镜（503）的反射面相对安装，图像拾取光路支撑板（607）安装在垂直运动组件（201）另一侧。

5.根据权利要求4所述的一种垂直扫描测量白光干涉测头，其特征在于：所述双光栅位移计量装置（1）包括激光器（101）、放大镜（102）、放大镜镜筒（103）、静光栅（104）、静光栅支架（105）、静光栅调整板（106）、动光栅（107）、动光栅支架（108）、动光栅运动连接板（109）、反射镜A（110）、反射镜支架A（111）、反射镜B（112）、反射镜支架B（113）、光电接收器（114）和传感器盒（115）；动光栅（107）安装在动光栅支架（108）上，动光栅支架（108）固定在动光栅运动连接板（109）下部，动光栅运动连接板（109）下部和垂直运动组件（201）的内平台相连；

静光栅（104）安装在静光栅支架（105）上，静光栅支架（105）安装在静光栅调整板（106）上，静光栅调整板（106）安装在传感器盒（115）的内部；激光器（101）和放大镜镜筒（103）均安装在传感器盒（115）的上部且在相对两侧，放大镜（102）安装在放大镜镜筒（103）内，反射镜A（110）安装在反射镜支架A（111）上，反射镜支架A（111）安装在传感器盒（115）内部、靠近激光器（101）的一侧，反射镜B（112）安装在反射镜支架B（113）上，反射镜支架B（113）安装在传感器盒（115）内部、靠近放大镜（102）的一侧；

在激光器（101）发射的光束经反射镜A（110）反射的状态下，光束依次经过动光栅（107）和静光栅（104）发生衍射后产生干涉条纹，在垂直运动组件的内平台带动动光栅（107）移动时，光电接收器（114）接收到周期移动的干涉条纹，并传输至信号处理系统（7），信号处理系统（7）进行处理后得到垂直运动组件（201）的内平台的实时位移，并传输至计算机控制系统（8）。

6.根据权利要求5所述的一种垂直扫描测量白光干涉测头，其特征在于：所述第一反射镜（410）与水平方向成45°角，第三反射镜（604）与水平方向成45°角；第二反射镜（503）安装在矩形槽内部的上端，且与水平方向成45°角，分光镜（504）安装在矩形槽内部的下端，且与水平方向成45°角；反射镜支架A（111）的正下方与水平方向成45O角，反射镜支架B（113）的正下方与水平方向成45O角。

7.根据权利要求6所述的一种垂直扫描测量白光干涉测头，其特征在于：所述显微镜支架（502）一侧设置有显微镜旋入筒（5021），显微镜旋入筒（5021）设置有内螺纹，Mirau干涉显微镜（501）的一端与显微镜旋入筒（5021）之间螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的一种垂直扫描测量白光干涉测头，其特征在于：所述 CCD相机架（602）下部设有外螺纹，图像拾取光路镜筒（605）的上部设有内螺纹，CCD相机架（602）与图像拾取光路镜筒（605）之间通过螺纹连接。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种垂直扫描测量白光干涉测头，其特征在于：所述垂直运动组件（201）为柔性铰链结构。