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专利号: 2017112862351
申请人: 青岛大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-04-27
缴费截止日期: 2026-01-07
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于In合金的贵金属纳米颗粒的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤一,确定衬底材料并进行表面清洁处理,然后在真空条件下进行高温除气处理,所述高温除气处理的温度为100~900℃;

步骤二,在真空环境中,采用物理气相沉积在所述衬底上制备In/Pt、In/Au、In/Ag/Pt的双层或三层金属薄膜,所述物理气相沉积过程中,金属源采用相应的圆片状金属靶材,电离化电流为1~15mA,淀积速率为0.1~3nm/s;

步骤三,将所述双层或三层金属薄膜在10-2Pa以下的真空状态下加热,控制温度为300~900℃,所述双层或三层金属薄膜发生固态反浸润反应,实现纳米颗粒的固态自组装结晶生长,充分反应后,在保护气体或真空条件下将所述双层或三层金属薄膜冷却至150℃以下取出,制备得到贵金属纳米颗粒。

2.如权利要求1所述的一种基于In合金的贵金属纳米颗粒的制备方法,其特征在于,步骤一中所述衬底材料为半导体或氧化物。

3.如权利要求1所述的一种基于In合金的贵金属纳米颗粒的制备方法,其特征在于,步骤一中所述衬底材料的表面粗糙度不高于±6nm。

4.如权利要求1所述的一种基于In合金的贵金属纳米颗粒的制备方法,其特征在于,步骤二中所述双层或三层金属薄膜的厚度为0.5nm~300nm。

5.如权利要求1所述的一种基于In合金的贵金属纳米颗粒的制备方法,其特征在于,步骤三中所述贵金属纳米颗粒中In质量百分比小于10%。

6.如权利要求1~5中任一项所述的基于In合金的贵金属纳米颗粒的制备方法制备得到的贵金属纳米颗粒,其特征在于,所述贵金属纳米颗粒的平均直径为5nm~2μm,所述贵金属纳米颗粒的高度为2nm~200nm,所述贵金属纳米颗粒的密度为107~1011/cm2。