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专利号: 2017112505532
申请人: 武汉工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种利用双基片台MPCVD反应装置将人体头发作为碳源生长出单晶金刚石的方法,其特征在于,包含如下步骤:第一步,准备双基片台MPCVD反应装置,单晶金刚石衬底,以及洁净干燥的人体头发;

第二步,将头发绑成头发束,并通过传送装置置于上基片台中心圆孔内,单晶金刚石衬底置于下基片台凹槽内;

第三步,将氢气通入双基片台MPCVD反应装置的反应腔中,利用微波激发气体放电产生等离子体,调节沉积装置的工艺参数,通过传送装置使头发伸入等离子体中并被刻蚀,产生的碳源气体进行单晶金刚石的生长;

第四步,利用激光切除单晶衬底,得到由人体头发为碳源制备的单晶金刚石。

2.如权利要求1所述的利用双基片台MPCVD反应装置将人体头发作为碳源生长出单晶金刚石的方法,其特征在于:第一步所述的双基片台MPCVD反应装置中,上基片台中心有直径为2~3mm的穿孔,下基片台有放置单晶金刚石的凹槽。

3.如权利要求1所述的利用双基片台MPCVD反应装置将人体头发作为碳源生长出单晶金刚石的方法,其特征在于:第一步所述的双基片台MPCVD反应装置中,单晶金刚石衬底可以是天然金刚石,也可是CVD金刚石或HPHT金刚石作为衬底。

4.如权利要求1所述的利用双基片台MPCVD反应装置将人体头发作为碳源生长出单晶金刚石的方法,其特征在于:第一步所述的双基片台MPCVD反应装置中,头发的洁净度在SCP4级以上。

5.如权利要求1所述的利用双基片台MPCVD反应装置将人体头发作为碳源生长出单晶金刚石的方法,其特征在于:第二步中所述头发束的直径为1.0~2.5mm。

6.如权利要求1所述的利用双基片台MPCVD反应装置将人体头发作为碳源生长出单晶金刚石的方法,其特征在于:第三步中所述下基片台温度在750~1050℃,上基片台温度在

150~200℃。

7.如权利要求1所述的利用双基片台MPCVD反应装置将人体头发作为碳源生长出单晶金刚石的方法,其特征在于:第三步中所述通过传送装置使头发以0.06~0.30m/h的速度伸入等离子体中并被刻蚀。