1.一种压力式循环射流电解加工微细阵列电极制备方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:
将待加工的工具电极连接电源正极,金属圆管连接电源的负极,待加工的工具电极位于金属圆管内,电解液充满壳体型腔时停止供液,打开加工电源,上部活塞推板和下部活塞推板循环推进,致使电解液因受压力沿金属圆管通孔作循环往复流动,参与待加工的工具电极与金属圆管内壁之间的电化学反应,阳极的工具电极按照金属圆管内壁形状被高速溶解,且通过油流缸内的液压油输送致使工具电极进给,使工具电极工作表面不断溶蚀,直到达到符合要求的加工形状和尺寸,切断加工电源,打开电解液截止阀让电解液沿电解液出液口流出,获得所需要的微细群工具电极。
2.一种基于权利要求1所述电极制备方法的制备装置,其特征在于:所述制备装置包括电解液系统、液压系统、上部壳体部分、下部壳体部分和工具电极部分;
所述液压系统包括液压循环部分和液压进给部分,所述液压循环部分包括双向定量泵、电磁换向阀、上部液压缸和下部液压缸,所述上部液压缸和下部液压缸均设有进油口,所述双向定量泵通过电磁换向阀分别与上部液压缸的进油口和下部液压缸的进油口连接;
所述液压进给部分包括液压单向定量泵、液压节流阀和液压截止阀,所述液压单向定量泵通过液压节流阀与流道进油口连接,所述流道进油口通过液压截止阀与液压油槽连接;液压油槽分别通过液压过滤器与双向定量泵、液压单向定量泵连接;
所述上部壳体部分包括上部壳体、上部活塞推板、夹体板和金属圆管,所述上部液压缸安装在上部壳体上,所述上部活塞推板呈“工”字型,所述上部活塞推板的上端安装在上部液压缸内且其下端安装在上部壳体内并能作往复滑动,所述夹体板卡接在上部壳体内且将型腔分成上部型腔和下部型腔,所述夹体板上设有阵列通孔,所述上部壳体的左侧设有电解液进液口,所述电解液进液口位于上部活塞推板与夹体板之间且与上部型腔连通;所述上部壳体的右下侧设有观液口,所述观液口与下部型腔连通,所述金属圆管呈阵列装配在所述夹体板的通孔内;
所述下部壳体部分包括下部壳体、下部活塞推板、流油缸、双杆活塞和导向板,所述下部液压缸安装在下部壳体上,所述下部活塞推板呈“工”字型,所述下部活塞推板的上端安装在下部壳体内且其下端安装在下部液压缸内并能作上下往复滑动,所述下部壳体左上侧上设有电解液出液口,所述电解液出液口位于流油缸与下部活塞推板之间且与下部型腔连通,所述流油缸安装在下部壳体内并设有液压油流道,所述下部壳体的右侧上设有所述流道进油口,所述流道进油口与液压油通道连通,所述双杆活塞底部呈“工”字型且装配在所述流油缸上,所述导向板安装在双杆活塞的上端且其顶部中间设有阵列通孔,所述金属圆管的下端伸入到所述阵列通孔中,所述导向板沿着其左右长度方向设有横向槽,所述导向板的前后侧壁上设有纵向槽,所述纵向槽、阵列通孔均与横向槽连通,所述纵向槽、横向槽均与下部型腔连通;所述流油缸的前后宽度和所述导向板的前后宽度均小于所述下部壳体内壁的前后宽度;所述上部活塞推板底部和下部活塞推板顶部长宽与壳体内壁长宽一致并能作无缝隙滑移;
所述工具电极部分包括柱状工具电极、电极夹具和薄金属板,所述薄金属板安装在所述导向板的横向槽内且其高度低于横向槽的高度,所述电极夹具采用金属材料,所述电极夹具夹紧柱状工具电极且安装在薄金属板上,所述柱状工具电极与金属圆管一一对应且其上端自下而上伸入到金属圆管内;
所述电解液进液口、电解液出液口均与电解液系统连接,所述薄金属板接电源正极,所述金属圆管接电源负极;通过所述双向定量泵和所述电磁换向阀可以使上部活塞推板和下部活塞推板作循环往复运动,液压油通过液压油流道输送及液压节流阀的调节可以使柱状工具电极产生进给运动。
3.如权利要求2所述的制备装置,其特征在于:所述电解液系统包括电解液进液部分和电解液出液部分,通过管道依次连接电解液槽、电解液过滤器、电解液单向定量泵、电解液节流阀和电解液进液口形成电解液进液部分,通过管道依次连接电解液出液口、电解液截止阀和电解液槽形成电解液出液部分;通过调节所述电解液节流阀可以控制电解液进液口流量,致使电解液充满型腔,加工结束后打开所述电解液截止阀将电解液流回到电解液槽内。
4.如权利要求2或3所述的制备装置,其特征在于:所述上部壳体和下部壳体用透明有机玻璃制作,且两者通过连接销连接。
5.如权利要求2或3所述的制备装置,其特征在于:所述导向板的纵向槽是矩形通槽,所述导向板的阵列通孔的轴线在导向板纵向槽的中间位置,所述导向板的横向槽也是矩形通槽,且与导向板的纵向槽垂直。
6.如权利要求2或3所述的制备装置,其特征在于:所述柱状工具电极采用线切割等长度的线性阵列柱状电极,所述柱状电极为钨棒或304不锈钢棒。
7.如权利要求2或3所述的制备装置,其特征在于:所述夹体板的阵列通孔、导向板的阵列通孔、金属圆管的通孔、柱状工具电极均呈1×5线性阵列排布,且同轴设置;所述电解液进液口的孔轴线、电解液出液口的孔轴线、观液口的孔轴线、流道进油口的孔轴线均平行布置。
8.如权利要求2或3所述的制备装置,其特征在于:所述金属圆管的外壁和端面用环氧树脂绝缘处理。
9.如权利要求2或3所述的制备装置,其特征在于:所述电解液采用质量分数为5%~
15%的NaOH溶液,加工电源为直流或脉冲,加工电压为5~15V。