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专利号: 2017105331678
申请人: 南京邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-11-12
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种基于金属纳米线/氧化锌纳米材料的紫外光传感器,其特征在于,包括柔性、透明的衬底1、沉积在衬底上的柔性、透明金属纳米线层2、在金属纳米线层2上制备的氧化锌纳米材料层3,金属纳米线层2上设置点电极4。

2.如权利要求 1所述的基于金属纳米线/氧化锌纳米材料的紫外光传感器,其特征在于,柔性、透明金属纳米线层通过喷涂制备,氧化锌纳米材料层直接生长于柔性、透明金属纳米线上。

3.如权利要求 1所述的基于金属纳米线/氧化锌纳米材料的紫外光传感器,其特征在于所述顶电极层为通过掩膜板在氧化锌纳米材料层上沉积的柔性、透明金属纳米线或金属薄膜层,点电极位于顶电极层之上。

4.如权利要求 1所述的基于金属纳米线/氧化锌纳米材料的紫外光传感器,其特征在于所述衬底为PET、PDMS、PI。

5.一种制备如权利要求 1所述的基于金属纳米线/氧化锌纳米材料的紫外光传感器的方法,其特征在于包含以下步骤:S1:在柔性衬底上用喷涂技术沉积一层金属纳米线层,金属纳米线层的厚度在5-50μm,方阻小于25Ω.sq–1;

S2:在制备好的金属纳米线衬底上固定好掩膜板,在上面滴涂晶种溶液,沉积一层氧化锌薄膜层作为晶种层,得到插指电极形状的薄膜,然后置于热水浴的烧杯中,使用含有锌离子的碱性反应溶液,将衬底竖直插入到反应液中并固定;

S3:在70-95℃的水浴中反应1-8h,反应后将衬底用去离子水清洗干净,置于烘箱中烘干,得到氧化锌阵列;

S4:在金属纳米线层2上沉积点电极,得到对紫外有很好敏感度的氧化锌纳米传感器。