1.一种柔性电容式湿度传感器,其特征在于:包括柔性衬底(1)、电极(2)和湿敏材料层(4);所述电极(2)设置在柔性衬底(1)的一个表面上,柔性衬底(1)相对的另一个表面上设置有湿敏材料层(4),电极(2)和湿敏材料层(4)通过柔性衬底(1)隔开;所述电极(2)由导线引出;
柔性电容式湿度传感器的制备方法包括以下步骤:
S1:清除柔性衬底(1)表面的污染物;
S2:在柔性衬底(1)的顶面旋涂湿敏材料层(4),并干燥形成薄膜;
S3:在柔性衬底(1)的底面通过丝网印刷工艺形成螺旋形电极(2);
S4:将电极(2)由导线引出;
S5:在电极(2)表面涂覆电极保护层(3)材料。
2.根据权利要求1所述的柔性电容式湿度传感器,其特征在于:所述电极(2)表面涂覆有电极保护层(3)。
3.根据权利要求2所述的柔性电容式湿度传感器,其特征在于:所述电极(2)沉积在柔性衬底(1)底面;所述湿敏材料层(4)旋涂在柔性衬底(1)顶面。
4.根据权利要求3所述的柔性电容式湿度传感器,其特征在于:所述电极(2)通过丝网印刷技术形成在柔性衬底(1)底面。
5.根据权利要求1或2或4所述的柔性电容式湿度传感器,其特征在于:所述电极(2)为叉指电极。
6.根据权利要求5所述的柔性电容式湿度传感器,其特征在于:所述叉指电极为螺旋形。
7.根据权利要求1或3所述的柔性电容式湿度传感器,其特征在于:所述柔性衬底(1)采用PET制成。