1.一种三氟化氮等离子清洗装置，包括壳体（1）、电解仓（9）和热触点（19），所述壳体（1）左侧设有开口并与清洗仓（3）外壳左端固定连接，所述清洗仓（3）左侧设有开口并与仓盖（17）通过螺纹连接，其特征在于：所述清洗仓（3）腔体内侧壁粘贴条形电极板（4），并且清洗仓（3）底部内壁和仓盖（17）内壁粘贴圆形电极板（16），所述清洗仓（3）外壳外部套装螺旋线圈（2），所述电解仓（9）右端通过进气管（10）与外置气源连接，并且电解仓（9）左侧加装粒子加速器（7），所述电解仓（9）内腔上下两侧对应安装放电电极（8），所述放电电极（8）与放电电源（11）通过导线连接，所述粒子加速器（7）通过特制弧形管道（6）与清洗仓（3）右端连接，所述清洗仓（3）右端通过导管与真空泵（14）连接，所述真空泵（14）固定安装在壳体（1）内部并通过排气管（15）与尾气处理装置连接，所述热触点（19）与清洗仓（3）内部支架固定连接，所述热触点（19）和标定块（12）均通过导线与电压表（13）连接，所述标定块（12）安装在清洗仓（3）外部并与壳体（1）内部支架固定连接；

所述条形电极板（4）至少为七对且对应的两块条形电极板（4）通过导线连接第一稳压电源（5），所述圆形电极板（16）为两块且通过导线与第二稳压电源（20）连接，第一稳压电源（5）和第二稳压电源（20）数量分别与条形电极板（4）和圆形电极板（16）数量的二分之一相同，且第一稳压电源（5）和第二稳压电源（20）均可单独调压；所述螺旋线圈（2）为高频抗磁线圈。

2.根据权利要求1所述的一种三氟化氮等离子清洗装置，其特征在于：所述清洗仓（3）为圆柱形，且清洗仓（3）与仓盖（17）之间加装密封圈（18）。

3.根据权利要求1所述的一种三氟化氮等离子清洗装置，其特征在于：所述标定块（12）外部包裹绝缘材料。