1.一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统的制备方法，其特征在于，所述方法应用于微波功率检测系统，包括如下步骤：步骤1：准备砷化镓衬底：选用的是未掺杂的砷化镓衬底；

步骤2：溅射钛/金/钛；溅射用于电镀共面波导传输线、测试电极和并联结构MEMS悬臂梁的底金，钛/金/钛的厚度为 是利用辉光放电使氮化硅电离产生低温等离子体，增强反应物质的化学活性，从而进行外延形成氮化硅薄膜；

步骤3：淀积氮化硅介质层：用等离子体增强化学气相淀积方法生长 的氮化硅介质层；

步骤4：光刻并刻蚀氮化硅介质层；保留并联结构MEMS悬臂梁下方共面波导中心信号线上、测试电极传输线上和测试电极上的氮化硅；

步骤5：淀积并光刻聚酰亚胺牺牲层；淀积1.6μm厚的聚酰亚胺牺牲层，聚酰亚胺牺牲层的厚度决定了并联结构MEMS悬臂梁与氮化硅介质层之间的高度，光刻聚酰亚胺牺牲层，仅保留并联结构MEMS悬臂梁下的牺牲层；

步骤6：电镀金；电镀共面波导传输线和并联结构MEMS悬臂梁，厚度为2μm；

步骤7：去除光刻胶、释放牺牲层；用显影液释放悬臂梁结构下方的聚酰亚胺牺牲层，并用无水乙醇脱水，形成并联结构的MEMS悬臂梁；

所述系统包括砷化镓衬底(9)、共面波导传输线和电容式微波功率传感器，所述的砷化镓衬底(9)上方设有共面波导传输线，所述共面波导传输线是由共面波导中心信号线(1)、共面波导地线(5)和空气桥(6)组成；电容式微波功率传感器是由悬臂梁(2)、测试电极(3)、测试电极传输线(7)、压焊块一(4)和压焊块二(8)组成；两个并联的悬臂梁(2)组成并联结构MEMS悬臂梁；在共面波导中心信号线(1)上方设有悬臂梁(2)，悬臂梁(2)下方设有测试电极(3)，测试电极(3)通过金线连接测试电极传输线(7)；测试电极传输线(7)通过金线连接压焊块二(8)；压焊块一(4)通过金线连接悬臂梁(2)；空气桥(6)通过金线连接地线(5)；所述测试电极传输线(7)从悬臂梁(2)的平行方向引出；

所述系统的微波功率从共面波导中心信号线(1)的端口A向共面波导中心信号线(1)端口B传输时，悬臂梁(2)与共面波导传输线之间产生静电力，使悬臂梁(2)下拉；

所述并联的MEMS悬臂梁结构与测试电极之间的间距变小，两者之间的电容值发生改变，通过测量改变的电容值得到与之一一对应的微波功率；测量得到的悬臂梁(2)和测试电极(3)之间的电容值通过压焊块一(4)和压焊块二(8)输出。