1. 一种类金刚石复合二硫化钥纳米多层薄膜,其特征在于该薄膜镀覆在不锈钢表面上,薄膜由高硬度类金刚石薄膜和二硫化钥润滑膜多层交替构成;类金刚石薄膜单层厚度为10〜lOOnm,层数为10-100层,二硫化钥润滑膜单层厚度为lO-lOOnm,层数为10-100层; 类金刚石复合二硫化钥纳米多层薄膜总厚度为1. 5〜6 μ m,硬度为12-18GPa。
2. 一种类金刚石复合二硫化钥纳米多层薄膜的制备方法,其特征在于首先对不锈钢基底进行超声清洗前处理,然后置于MFD800型双靶磁控溅射气相沉积系统的真空腔中,依次沉积以下薄膜:(a)预抽真空至5X 10_4Pa,放电气压为1. O〜1. 5Pa,偏压为-500〜-1000V, 对不锈钢基底进行20〜30min的氩等离子体溅射活化处理;(b)单层类金刚石碳薄膜沉积,采用直流电源控制石墨靶,氩气气氛,放电气压为0. 8Pa,控制石墨靶电流为1.0〜1. 4A,在不锈钢基底上施加偏压-200〜-400V,沉积时间为I〜15min ; (c)单层二硫化钥润滑层沉积,采用射频电源控制二硫化钥靶,功率为200〜600W,沉积时间为I〜IOmin ; (d) 重复步骤(b)和(C),交替沉积类金刚石层和二硫化钥润滑层,直到所需厚度或层数,最终在不锈钢基底表面获得类金刚石复合二硫化钥纳米多层薄膜。