1.一种研磨材料,其特征在于,所述研磨材料包括基体和包覆层,所述基体为氧化铝•稀土氧化物固溶体,所述包覆层为二氧化硅。
2.根据权利要求1所述的研磨材料,其特征在于,所述氧化铝•稀土氧化物固溶体中稀土氧化物选自氧化镧、氧化铈、氧化钕、氧化铕或氧化镨中的一种或几种;
以基体的总量为基准,所述稀土氧化物的重量百分含量为10-20wt%。
3.根据权利要求1所述的研磨材料,其特征在于,以研磨材料的总量为基准,所述基体的重量百分含量为75-85wt%,所述包覆层的重量百分含量为15-25wt%。
4.根据权利要求1所述的研磨材料,其特征在于,所述研磨材料的平均粒径为
300-600nm,粒径分布为100-1000nm。
5.根据权利要求1所述的研磨材料,其特征在于,所述包覆层的厚度为10-30nm。
6.一种研磨材料的制备方法,其特征在于,包括:a、将含有铝源、稀土源的物质于碱性条件下发生沉淀反应制备基体前躯体; b、在步骤a所得基体前躯体的表面包覆硅源;
c、将步骤b所得物质烧结,得基体为氧化铝•稀土氧化物固溶体、包覆层为二氧化硅的研磨材料;
所述铝源选自可溶有机铝盐、无机铝盐和铝酸盐中的一种或几种;
所述稀土源为镧的硝酸盐、铈的硝酸盐、钕的硝酸盐、铕的硝酸盐或镨的硝酸盐中的一种或几种;
所述硅源选自硅酸和/或二甲基硅油。
7.根据权利要求6所述的研磨材料的制备方法,其特征在于,所述铝源选自铝酸钠、偏铝酸钾、异丙醇铝、硝酸铝、氯化铝或硫酸铝中的一种或几种。
8.根据权利要求6所述的研磨材料的制备方法,其特征在于,所述碱性条件的pH=8-10;所述沉淀反应的温度为40-80℃;所述沉淀反应的搅拌速度为600-1000rpm。
9.根据权利要求6所述的研磨材料的制备方法,其特征在于,所述铝源中的铝元素与稀土源中的稀土元素的摩尔比为10-20。
10.根据权利要求6所述的研磨材料的制备方法,其特征在于,所述包覆包括红外加热喷雾包覆。
11.根据权利要求10所述的研磨材料的制备方法,其特征在于,所述红外加热喷雾包覆的喷雾速度为1-5L/min,所述红外加热喷雾包覆的硅源喷雾量为每千克基体前躯体
0.15-0.25L。
12.根据权利要求10所述的研磨材料的制备方法,其特征在于,所述红外加热喷雾包覆的加热温度为110-130℃。
13.根据权利要求6所述的研磨材料的制备方法,其特征在于,所述烧结的温度为
1000-1300℃,烧结的时间为3-6h。
14.根据权利要求13所述的研磨材料的制备方法,其特征在于,所述烧结的温度的升温速度为5-10℃/min。
15.一种研磨液组合物,包括研磨材料、碱性化合物、分散剂和螯合剂,其特征在于,所述研磨材料为权利要求1-5任意一项所述的研磨材料。