1.基于交指槽结构的高灵敏度线性度补偿型厚度传感器，其特征在于，包括介质基板、共面波导、交指槽谐振结构和堆叠边界结构，介质基板的表面设有共面波导，交指槽谐振结构蚀刻于共面波导的接地带上，堆叠边界结构位于交指槽谐振结构的上方，堆叠边界结构包括由下至上层叠设置的绝缘垫片和金属反射层。

2.根据权利要求1所述的基于交指槽结构的高灵敏度线性度补偿型厚度传感器，其特征在于，共面波导包括中心导体带和位于中心导体带两侧的接地带，中心导体带与接地带之间具有信号传输间隙；所述共面波导的结构关于所述中心导体带的中心轴线呈镜像对称分布。

3.根据权利要求1所述的基于交指槽结构的高灵敏度线性度补偿型厚度传感器，其特征在于，交指槽谐振结构包括沿微波信号传播方向等间距级联的交指结构，每一对交指结构包括从接地带向内延伸的指状金属臂和指状金属臂之间的曲折槽缝；交指结构在接地带上形成缺陷地结构（DGS）。

4.根据权利要求1所述的基于交指槽结构的高灵敏度线性度补偿型厚度传感器，其特征在于，绝缘垫片直接覆盖于交指槽谐振结构之上，金属反射层在垂直方向上的投影面积覆盖交指槽谐振结构和绝缘垫片。

5.根据权利要求1所述的基于交指槽结构的高灵敏度线性度补偿型厚度传感器，其特征在于，堆叠边界结构与介质基板之间形成测试区域。

6.根据权利要求1所述的基于交指槽结构的高灵敏度线性度补偿型厚度传感器，其特征在于，金属反射层配置为将自共面波导辐射出的电磁波反射回传感区域，介质基板与金属反射层之间形成准封闭电磁耦合域。