1.一种真空玻璃厚度测量仪,包括底座(1)和PLC控制系统(5),其特征在于:所述底座(1)的顶部设置有厚度测量机构(2),所述厚度测量机构(2)的内部设置有辅助测量机构(3)和清理机构(4);
所述厚度测量机构(2)包括激光厚度测量器(205),用于对真空玻璃进行激光厚度测量;
所述辅助测量机构(3)包括第一测量组件(31)和第二测量组件(32),所述第一测量组件(31)包括主散射探测器(3103),用于采集激光穿过真空腔体时的散射信号,检测真空度情况;
所述第一测量组件(31)还包括小角度散射探测器(3101),呈小角度倾斜设置,用于捕捉真空度轻微下降时的微弱散射信号,实现真空度早期预警;
所述第二测量组件(32)包括透射信号探测器(3202),与激光发射光路同轴,用于采集激光穿透真空腔体后的直接透射信号,校准激光能量衰减,消除系统误差。
2.根据权利要求1所述的真空玻璃厚度测量仪,其特征在于:所述厚度测量机构(2)还包括第一伺服移动系统(201),所述第一伺服移动系统(201)的顶部设置有移动架(202),所述移动架(202)一侧外表面的顶部处固定安装有第二伺服移动系统(203),所述第二伺服移动系统(203)的底部设置有移动块(204),所述激光厚度测量器(205)安装在移动块(204)的底部,所述PLC控制系统(5)安装在移动架(202)的另一侧外表面,所述第一伺服移动系统(201)安装在底座(1)的顶部。
3.根据权利要求2所述的真空玻璃厚度测量仪,其特征在于:所述第一测量组件(31)还包括环形板(3104),所述环形板(3104)的内部固定安装有内环齿轮(3105),所述内环齿轮(3105)的内部活动嵌设有活动架(3106),所述活动架(3106)内部的顶面固定安装有第一正反电机(3107),所述第一正反电机(3107)的输出端固定安装有外齿轮(3108),所述活动架(3106)内部顶面和底面的边缘处均固定安装有滑杆件(3109),所述内环齿轮(3105)的顶部和底部均开设有滑槽(3110),两个所述滑杆件(3109)的外表面分别活动嵌设在两个滑槽(3110)的内部。
4.根据权利要求3所述的真空玻璃厚度测量仪,其特征在于:所述小角度散射探测器(3101)的外表面固定安装有小角度安装板(3102),所述小角度安装板(3102)的顶部固定安装在移动块(204)底部的边缘处,所述环形板(3104)的外表面固定安装有多个加固杆(3115),多个所述加固杆(3115)的一端分别固定安装在移动块(204)的四面,所述外齿轮(3108)与内环齿轮(3105)啮合连接,所述外齿轮(3108)的底部固定安装有转柱(3111),所述转柱(3111)的底端活动嵌设在活动架(3106)内部的底面。
5.根据权利要求4所述的真空玻璃厚度测量仪,其特征在于:所述活动架(3106)的底部固定安装有主安装板(3112),所述主散射探测器(3103)固定安装在主安装板(3112)外表面,所述活动架(3106)的顶部设置有环形轨(3113),所述环形轨(3113)的内部活动嵌设有滑块(3114),所述滑块(3114)的底部固定安装在活动架(3106)的顶部,所述环形轨(3113)的顶部固定安装有固定杆(3116),多个所述固定杆(3116)的顶端分别固定安装在多个加固杆(3115)的外表面。
6.根据权利要求5所述的真空玻璃厚度测量仪,其特征在于:所述第二测量组件(32)还包括连接架(3201),所述连接架(3201)的顶部和底部均活动嵌设有两个导轨(3203),所述透射信号探测器(3202)固定安装在连接架(3201)内部的底面,所述连接架(3201)的外表面固定安装有环形架(3204),所述环形架(3204)的内壁固定安装在多个加固杆(3115)的外表面,两个所述导轨(3203)分别固定安装在移动架(202)内部的顶面和底面。
7.根据权利要求6所述的真空玻璃厚度测量仪,其特征在于:所述辅助测量机构(3)还包括推料组件(33),所述推料组件(33)包括载物台(3301),所述载物台(3301)的前表面固定安装有延长板(3302),所述载物台(3301)的后表面固定安装有固定架(3303),所述固定架(3303)的内部固定安装有多级电推杆(3304),所述多级电推杆(3304)的一端固定安装有定位框(3305),所述载物台(3301)的底端固定安装在底座(1)的顶部。
8.根据权利要求7所述的真空玻璃厚度测量仪,其特征在于:所述清理机构(4)包括第二正反电机(401),所述第二正反电机(401)的输出端固定安装有清理架(402),所述清理架(402)的内部活动嵌设有活动条(410),所述活动条(410)的底部分别安装有防静电棉(411)和清理棉(412),所述清理架(402)底部的边缘处固定安装有离子发生器(409),所述活动条(410)的顶部开设有多个压槽(415),所述活动条(410)底部的两侧均设置有弹性板(413),两个所述弹性板(413)的底部均固定连接有多个弹簧(414),多个所述弹簧(414)的一端分别固定安装在清理架(402)内部底面的两侧处。
9.根据权利要求8所述的真空玻璃厚度测量仪,其特征在于:所述清理架(402)的外表面固定安装有支撑架(405),所述支撑架(405)内部的顶面固定安装有液压缸(406),所述液压缸(406)的一端固定安装有固定条(407),所述固定条(407)的底部固定安装有多个压杆(408)。
10.根据权利要求9所述的真空玻璃厚度测量仪,其特征在于:所述清理架(402)的顶部设置有弧形轨(403),所述弧形轨(403)的内部活动嵌设有限位杆(404),所述限位杆(404)的底端固定安装在清理架(402)顶部的前表面处,所述第二正反电机(401)通过辅助架安装在载物台(3301)前表面的边缘处,多个所述压杆(408)的底端均活动贯穿至清理架(402)的内部,且活动嵌设在多个压槽(415)的内部。