1.一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，包括：

底座；

支撑环，所述支撑环设置在所述底座上；

第一旋转板，与所述支撑环固定连接，所述第一旋转板可旋转；

第二旋转板，位于所述第一旋转板上方，所述第二旋转板可旋转，所述第二旋转板上设有沿第一预设方向延伸的第一滚珠槽，所述第一滚珠槽内设有滚珠；

升降板，位于所述第二旋转板上方，所述升降板设有沿第二预设方向延伸的容纳滚珠的第二滚珠槽，所述第一滚珠槽与第二滚珠槽中的至少一个沿其延伸方向的槽深具有高度差；

升降杆，位于第一旋转板和升降板之间并与第一旋转板和升降板连接，所述第二旋转板旋转时，带动所述滚珠在第一滚珠槽和第二滚珠槽之间滚动，所述滚珠的滚动驱动第二旋转板和升降板相互远离或者靠近；

压膜板，位于所述升降板上方，用于压住待扩膜晶圆的晶圆环。

2.根据权利要求1所述的一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，所述第一滚珠槽和/或第二滚珠槽的槽深沿其延伸方向不断减小或增大。

3.根据权利要求1所述的一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，第一滚珠槽的第一预设延伸方向包括：沿第二旋转板靠近升降板的一侧向背离升降板的一侧轴向延伸的第一轴向方向，围绕支撑环周侧延伸的第二方向；

第二滚珠槽的第二预设延伸方向包括：沿升降板靠近第二旋转板的一侧向背离第二旋转板的一侧轴向延伸的第二轴向方向，围绕支撑环周侧延伸的第二方向。

4.根据权利要求3所述的一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，所述第一滚珠槽和/或第二滚珠槽沿第二方向延伸的起点的槽深大于终点的槽深或起点的槽深小于终点的槽深，所述第二旋转板和升降板相互远离的最大距离小于等于所述第一滚珠槽和/或第二滚珠槽沿第二方向延伸的起点与终点的槽深差。

5.根据权利要求1所述的一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，所述升降杆包括导向柱和与导向柱连接并固定在所述第一旋转板上的直线轴承，所述导向柱一端与所述升降板固定连接，另一端与直线轴承连接。

6.根据权利要求1所述的一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，所述直驱形式的旋转扩膜装置包括驱动第一旋转板旋转的第一弧形电机和驱动第二旋转板旋转的第二弧形电机，所述第一弧形电机设置在所述底座上，所述第二弧形电机设置在所述第一旋转板上。

7.根据权利要求6所述的一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，所述底座上设有第一凹槽，第一弧形电机设置在所述第一凹槽内，所述第一旋转板设置在所述第一弧形电机上并与第一弧形电机连接。

8.根据权利要求6所述的一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，所述第一旋转板上设有第二凹槽，第二弧形电机设置在所述第二凹槽内，所述第二旋转板设置在所述第二弧形电机上并与第二弧形电机连接。

9.根据权利要求1所述的一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，所述第一旋转板外周侧连接有圆弧导轨，所述圆弧导轨外周侧设置有滚轮，所述滚轮固定在所述底座上，所述滚轮沿着圆弧导轨的轨道外缘滚动。

10.根据权利要求9所述的一种直驱形式的旋转扩膜装置，其特征在于，所述底座上设有连接柱，所述滚轮固定在所述连接柱上。