利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2025205370193
申请人: 苏州欣恒高科光电科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种高陡度消偏振长波通光学滤光片,其特征在于:包括TA2O5膜层和SiO2膜层,TA2O5膜层和SiO2膜层数量均为若干,若干TA2O5膜层和SiO2膜层排列形成:下堆结构:TA2O5膜层、SiO2膜层、TA2O5膜层、0.8SiO2膜层依次排列;

若干中堆结构:0.8SiO2膜层、TA2O5膜层、SiO2膜层、TA2O5膜层、SiO2膜层、TA2O5膜层、SiO2膜层、TA2O5膜层、0.8SiO2膜层依次排列;

上堆结构:0.8SiO2膜层、TA2O5膜层依次排列。

2.根据权利要求1所述的一种高陡度消偏振长波通光学滤光片,其特征在于:中堆结构数量为六个。

3.根据权利要求2所述的一种高陡度消偏振长波通光学滤光片,其特征在于:TA2O5膜层用做高折射率膜层,SiO2膜层用做低折射率膜层。

4.根据权利要求3所述的一种高陡度消偏振长波通光学滤光片,其特征在于:TA2O5膜层、SiO2膜层均通过镀膜方式获得。

5.根据权利要求4所述的一种高陡度消偏振长波通光学滤光片,其特征在于:下堆结构的TA2O5膜层、SiO2膜层、TA2O5膜层、0.8SiO2膜层厚度依次为45nm、150.55nm、78.48nm、

70.64nm。

6.根据权利要求5所述的一种高陡度消偏振长波通光学滤光片,其特征在于:中堆结构的0.8SiO2膜层、TA2O5膜层、SiO2膜层、TA2O5膜层、SiO2膜层、TA2O5膜层、SiO2膜层、TA2O5膜层、

0.8SiO2膜层厚度依次为:70.64nm、44.94nm、109.55nm、92.4nm、94.89nm、56.58nm、

380.77nm、216.5nm、101.7nm。

7.根据权利要求6所述的一种高陡度消偏振长波通光学滤光片,其特征在于:上堆结构的0.8SiO2膜层、TA2O5膜层的厚度分别为:117.43nm、78.41nm。

8.根据权利要求7所述的一种高陡度消偏振长波通光学滤光片,其特征在于:镀膜时基板加温至260°,蒸发流速:TA2O5为300‑450mA,SiO2为70‑100mA。

9.根据权利要求8所述的一种高陡度消偏振长波通光学滤光片,其特征在于:镀膜时,工转速度为30r/min,真空度:TA2O5为2.0x10^(‑2)Pa,SiO2为9x10^(‑3)Pa。