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转移装置
¥2200
专利号: 2025205171151
申请人: 三星显示有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-04-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种转移装置,其特征在于,所述转移装置包括:光源部分,被构造为照射激光束;

上台,设置在所述激光束的路径上,并且被构造为支撑转移基底;

下台,被构造为支撑面对所述转移基底的目标基底;以及掩模,被构造为设置在所述目标基底上,并且面对所述转移基底,其中,所述掩模包括:基体层,其中了限定在第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向上布置的多个开口,并且限定了所述目标基底的转移区域;以及粘合层,设置在所述基体层上,并且被构造为面对所述转移基底。

2.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述转移区域与所述目标基底的单元区域对应,其中,在平面中,所述多个开口中的每个具有与所述单元区域的形状对应的形状,并且所述多个开口中的每个具有与所述单元区域的面积对应的面积。

3.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述多个开口中的每个的上部的宽度等于或宽于所述多个开口中的每个的下部的宽度。

4.根据权利要求2所述的转移装置,其特征在于,所述多个开口中的每个具有具备曲率的侧表面。

5.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述下台包括卡盘,所述卡盘设置在所述下台的顶表面处并且能够吸附到所述目标基底的后表面。

6.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述掩模设置为与所述转移基底间隔开。

7.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述粘合层设置为面对设置在所述转移基底上的发光元件。

8.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述掩模设置为与所述目标基底接触。

9.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述光源部分包括:光源,被构造为产生所述激光束;以及

光学系统,设置在所述激光束的路径上,并且被构造为引导所述激光束。

10.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述光源部分使用激光诱导向前转移方法或激光剥离方法来照射所述激光束。