1.一种扫描电子显微镜控温载物装置,包括样品底盘(1),其特征在于,所述样品底盘(1)上固定安装有冷却室(2),所述冷却室(2)的顶部螺纹安装有冷却盖(3),所述冷却盖(3)的顶面固定安装有载物台(4),所述冷却盖(3)上均匀开设有多个导气孔(5),所述载物台(4)上设置有温度传感器(6),所述冷却盖(3)内设置有控温组件(7);
所述控温组件(7)包括固定安装在冷却盖(3)内的驱动电机(71),所述驱动电机(71)的输出端固定连接有面齿轮(72),所述冷却盖(3)内转动连接有螺纹杆(73),所述螺纹杆(73)靠近面齿轮(72)的一端固定安装有直齿轮(74),所述面齿轮(72)与直齿轮(74)相啮合,所述螺纹杆(73)的外表面螺纹传动有挡板(75),所述冷却盖(3)内还开设有滑槽(76),所述挡板(75)可沿滑槽(76)直线滑动。
2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜控温载物装置,其特征在于,所述导气孔(5)、螺纹杆(73)、直齿轮(74)、挡板(75)、滑槽(76)之间均一一对应,并且挡板(75)的直径大于导气孔(5)的直径。
3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜控温载物装置,其特征在于,所述载物台(4)沿圆周方向均匀固定连通有多个排气管(8),且所述排气管(8)呈倒置U形结构设置,所述排气管(8)远离载物台(4)一端的高度低于载物台(4)顶面的高度。
4.根据权利要求3所述的扫描电子显微镜控温载物装置,其特征在于,所述冷却盖(3)与载物台(4)之间设置有冷却腔(12),且所述导气孔(5)、冷却腔(12)、排气管(8)依次连通。
5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜控温载物装置,其特征在于,所述冷却室(2)内设置有提升组件(9),所述提升组件(9)包括托盘(91),所述托盘(91)可沿冷却室(2)的内壁竖直上下滑动,所述托盘(91)的底面与冷却室(2)的底部之间设置有竖直的弹簧(92),且弹簧(92)的两端分别与托盘(91)和冷却室(2)固定连接。
6.根据权利要求5所述的扫描电子显微镜控温载物装置,其特征在于,所述弹簧(92)的中部呈凹面结构设置,用于放置冷却剂。
7.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜控温载物装置,其特征在于,所述冷却室(2)、冷却盖(3)和载物台(4)的外侧均设置有隔温层(10),且所述隔温层(10)的外侧均匀分布有防滑纹(11)。