1.一种半导体真空腔漏气监测装置，包括真空腔体(1)和工艺腔体(3)，所述真空腔体(1)位于工艺腔体(3)的一侧，所述真空腔体(1)的底部安装有真空泵(2)；

其特征在于：还包括：

第一输送管(4)，其安装在真空腔体(1)靠近工艺腔体(3)的一侧，所述工艺腔体(3)靠近真空腔体(1)的一侧设置有第二输送管(5)，所述第一输送管(4)和第二输送管(5)的连接端均设置有连接法兰(8)，且第一输送管(4)和第二输送管(5)均通过连接法兰(8)进行连接，所述连接法兰(8)的外部套设有固定套板(7)，所述固定套板(7)的内侧一体成型设置有内腔(16)，且固定套板(7)通过内腔(16)卡合在连接法兰(8)的外侧，所述内腔(16)的内壁上端设置有若干均匀分布的超声波模块(13)，所述超声波模块(13)的底部一侧设置有超声波发射头(14)，所述超声波模块(13)底部的另一侧设置有超声波接收头(15)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体真空腔漏气监测装置，其特征在于：所述第一输送管(4)和第二输送管(5)之间设置有电磁阀(6)，且电磁阀(6)通过连接法兰(8)与第一输送管(4)和第二输送管(5)进行连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体真空腔漏气监测装置，其特征在于：所述固定套板(7)呈半圆弧形设置，且固定套板(7)对称设置有两组并分别活动套设在连接法兰(8)的外部两侧。

4.根据权利要求1所述的一种半导体真空腔漏气监测装置，其特征在于：所述第一输送管(4)和第二输送管(5)的底部均设置有固定座(12)，所述两个固定座(12)之间安装有连接杆(10)，且连接杆(10)位于电磁阀(6)的底部，所述固定套板(7)的底端安装有连接座(11)，连接座(11)活动卡合在连接杆(10)的外部，且固定套板(7)通过连接座(11)在连接杆(10)的外部进行开合活动。

5.根据权利要求1所述的一种半导体真空腔漏气监测装置，其特征在于：所述固定套板(7)的外部设置有若干均匀分布的指示灯(9)，指示灯(9)位置与对应超声波模块(13)位置对齐，且超声波模块(13)的输出端与指示灯(9)的输入端电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体真空腔漏气监测装置，其特征在于：所述固定套板(7)另一端的贴合处设置有磁吸片(17)，且两个固定套板(7)之间通过磁吸片(17)进行连接。