1.一种硅片载板加工固定夹具,其特征在于:所述固定夹具(30)用于固定吸附在吸附平台(20)上的载板(10),所述载板(10)的边角处均开设有定位槽(11),所述固定夹具(30)可嵌入于所述定位槽(11)中;
所述固定夹具(30)包括:
成对设置的定位杆(31)以及安装在所述定位杆(31)的上端的纠偏头(32),其中,所述纠偏头(32)为球形结构,所述定位杆(31)为圆柱结构;
所述定位槽(11)的形状与所述固定夹具(30)的形状相适配;
所述纠偏头(32)的圆心偏离于所述定位杆(31)的圆心,并且所述纠偏头(32)的圆心与所述定位杆(31)圆心的延长线为L1,两个所述定位杆(31)的圆心连接线为L2;
所述L1和L2之间具有锐角夹角α,所述锐角夹角α位于L2的同一侧;
所述定位槽(11)以所述载板(10)边角高度线为对称轴对称开设在所述载板(10)的侧边上。
2.根据权利要求1所述的硅片载板加工固定夹具,其特征在于:所述固定夹具(30)包括第一固定夹具(301)和第二固定夹具(302);
所述第一固定夹具(301)与所述吸附平台(20)固定;
所述第二固定夹具(302)可移动地安装在所述吸附平台(20)上,所述第二固定夹具(302)还进一步包括:移动板(33),可移动地安装在所述吸附平台(20)上,所述定位杆(31)固定安装在所述移动板(33)上,所述移动板(33)的移动方向与所述载板(10)的边沿之间具有夹角β;
固定件(34),用于将所述移动板(33)固定在所述吸附平台(20)上。
3.根据权利要求2所述的硅片载板加工固定夹具,其特征在于:所述夹角α的角度为45°,并且两个L1相交角为直角。
4.根据权利要求2所述的硅片载板加工固定夹具,其特征在于:所述夹角β的角度为135°。
5.根据权利要求2所述的硅片载板加工固定夹具,其特征在于:所述定位槽(11)包括:
用于容纳所述纠偏头(32)的第一凹槽(111),呈球状槽结构;
用于容纳所述定位杆(31)的第二凹槽(112),呈圆柱状槽结构。
6.根据权利要求4所述的硅片载板加工固定夹具,其特征在于:所述定位槽(11)还进一步包括:第三凹槽(113),用于避让从所述载板(10)外侧进入所述定位槽(11)的所述纠偏头(32)。
7.根据权利要求5所述的硅片载板加工固定夹具,其特征在于:所述吸附平台(20)上开设有移动槽(21),所述移动板(33)可移动地嵌入于所述移动槽(21)中,所述移动槽(21)上开设有定位孔(212);
所述固定件(34)包括:
固定板(341),一端焊接在所述移动板(33)上,并且开设有螺纹孔;
固定螺丝(342),与所述螺纹孔螺纹配合,当所述螺纹孔和所述定位孔(212)相对应时,所述固定螺丝(342)可通过所述螺纹孔伸入所述定位孔(212)内。