1.一种静电驱动的弹性模量测试装置，其特征在于，包括：

测试装置基座，所述测试装置基座包括底座、位移微调测量平台、上夹板和L形板；作为谐振梁的测试样品的一端通过上夹板和L形板固定，形成悬臂梁结构；所述位移微调测量平台用于调节上夹板与底座之间的相对位置，以调整谐振梁与底座的位移量；L形板用于谐振梁的定位安装及上夹板移动过程中的导向；

用于为谐振梁提供静电激振力的静电激振电源，与作为谐振梁的测试样品的固定端连接；以及用于测量谐振梁的谐振频率的测振仪。

2.根据权利要求1所述的静电驱动的弹性模量测试装置，其特征在于，所述静电激振电源通过静电激励方式为谐振梁提供激振力，静电激振电源由直流电压和交流电压组成，通过调整直流电压和交流电压的耦合，使谐振梁在交流分量的作用下在平衡位置周围振动，并在激励频率等于谐振梁的固有频率时发生共振，从而精确测量谐振频率。

3.根据权利要求1所述的静电驱动的弹性模量测试装置，其特征在于，所述位移微调测量平台包括上滑台和下滑台，上滑台与上夹板固定，下滑台与底座固定，通过调节上滑台和下滑台的相对位置，实现对谐振梁与底座之间位移量的精确调整。

4.根据权利要求1所述的静电驱动的弹性模量测试装置，其特征在于，谐振梁的弹性模量为：

式中，E为弹性模量， 为谐振梁一阶圆频率，I为截面惯性矩，ρ为谐振梁的密度，A为谐振梁的截面积，L为谐振梁的长度。

5.一种静电驱动的弹性模量测试装置，其特征在于，包括一个测试机械结构，所述机械结构部分包括谐振梁、测试装置基座，谐振梁的一端通过上夹板和L形板固定在测试装置基座上，形成悬臂梁结构，位移微调测量平台用于精确调整谐振梁与基座的相对位置；其中，谐振梁为测试样品；测试装置基座包含底座、位移微调测量平台、上夹板和L形板。

6.根据权利要求5所述的静电驱动的弹性模量测试装置，其特征在于，所述位移微调测量平台包括上滑台和下滑台，上滑台与上夹板固定，下滑台与底座固定，通过调节上滑台和下滑台的相对位置，实现对谐振梁与底座之间位移量的精确调整。

7.根据权利要求5所述的静电驱动的弹性模量测试装置，其特征在于，谐振梁的弹性模量为：

式中，E为弹性模量， 为谐振梁一阶圆频率，I为截面惯性矩，ρ为谐振梁的密度，A为谐振梁的截面积，L为谐振梁的长度。