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专利号: 2024215972946
申请人: 鹏博(天津)智能科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-07-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于半导体制造的晶圆清洗回收装置,包括清洗调节机构(1),其特征在于:所述清洗调节机构(1)的外壁一侧固定连接有烘干机构(2);

所述清洗调节机构(1)包括有超声波清洗池(101),所述超声波清洗池(101)的顶部固定连接有两个第一支撑板(102),两个所述第一支撑板(102)的外壁一侧均开设有第一孔洞(103),两个所述第一孔洞(103)的内表壁均固定插设有第一轴承(104),两个所述第一轴承(104)的内表壁均固定插设有螺旋丝杆(105),两个所述螺旋丝杆(105)的外表壁均固定套设有齿盘(106),两个所述齿盘(106)的外表壁之间啮合连接有齿带(107),两个所述螺旋丝杆(105)其中一个的外壁一侧固定连接有驱动电机(108),两个所述螺旋丝杆(105)的外表壁之间螺纹连接有两个螺纹连接块(109)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体制造的晶圆清洗回收装置,其特征在于:两个所述螺纹连接块(109)的内表壁之间固定连接有连接板(110),所述连接板(110)的底部固定连接有四个电推杆(111),四个所述电推杆(111)的底部之间固定连接有晶圆清洗篮(112)。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体制造的晶圆清洗回收装置,其特征在于:两个所述螺旋丝杆(105)的外表壁均固定套设有第二轴承(113),两个所述第二轴承(113)的外表壁均固定套设有第二支撑板(114)。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体制造的晶圆清洗回收装置,其特征在于:所述烘干机构(2)包括有烘干座(201),所述烘干座(201)的顶部固定连接有防护外壳(202),所述防护外壳(202)的外壁一侧开设有五个第二孔洞(203)。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体制造的晶圆清洗回收装置,其特征在于:五个所述第二孔洞(203)的内表壁均固定插设有热风机(204)。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体制造的晶圆清洗回收装置,其特征在于:所述防护外壳(202)的外壁一侧开设有多个出风口(205)。

7.根据权利要求6所述的一种用于半导体制造的晶圆清洗回收装置,其特征在于:所述超声波清洗池(101)的外壁一侧与烘干座(201)的外壁一侧固定连接,两个所述第二支撑板(114)的底部与烘干座(201)的顶部固定连接。