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专利号: 2024209953990
申请人: 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.高纯pfa隔膜阀,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部安装有阀体(2),所述阀体(2)的两端均螺纹连接有扩口螺帽(3),所述阀体(2)的顶部连通固定有气腔外壳(4),所述气腔外壳(4)的顶部安装有顶盖(5),所述气腔外壳(4)的内部设置有芯轴(6),所述芯轴(6)的顶端滑动贯穿顶盖(5)并延伸至其上方。

2.根据权利要求1所述的高纯pfa隔膜阀,其特征在于:所述底座(1)的两侧壁均固定有安装块(7),所述安装块(7)的顶部均开设有两个安装孔(8)。

3.根据权利要求1所述的高纯pfa隔膜阀,其特征在于:所述气腔外壳(4)的一侧壁开设有第一气管连接孔(9),所述顶盖(5)的一侧壁开设有第二气管连接孔(10)。

4.根据权利要求1所述的高纯pfa隔膜阀,其特征在于:所述底座(1)下表面和顶盖(5)上表面开设的四个螺栓沉孔内部均紧密塞入有封帽(11)。

5.根据权利要求1所述的高纯pfa隔膜阀,其特征在于:两个扩口螺帽(3)的表面均呈环形阵列固定有用于增大手部摩擦力的防滑凸条(12)。