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专利号: 2024209811769
申请人: 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.高纯ptfe风囊泵,包括底座(6),其特征在于:所述底座(6)的顶部安装有泵体(1),所述泵体(1)的内部设置有导流腔(16),所述泵体(1)侧壁开设的过孔内部安装有轴杆(5),所述轴杆(5)的表面设置有两个外罗牙套(2),所述外罗牙套(2)均安装在泵体(1)上,所述轴杆(5)的两端均插接有风囊件(13),所述导流腔(16)的内部固定有两个阀座(8),所述导流腔(16)的内部螺纹连接有两个单向阀(9),所述阀座(8)和单向阀(9)的内部均设置有密封珠(10),所述泵体(1)的一端螺纹连接有左泵头(3),所述泵体(1)的另一端螺纹连接有右泵头(4),所述左泵头(3)和右泵头(4)的侧壁均开设有三个通孔(17)。

2.根据权利要求1所述的高纯ptfe风囊泵,其特征在于:所述导流腔(16)的内部螺纹连接有两个顶部检查塞(7),所述顶部检查塞(7)的顶部均呈环形阵列开设有沉槽(18)。

3.根据权利要求1所述的高纯ptfe风囊泵,其特征在于:所述导流腔(16)的内部螺纹连接有两个接头(14)。

4.根据权利要求1所述的高纯ptfe风囊泵,其特征在于:所述左泵头(3)和右泵头(4)一侧开设的沉孔内部均螺纹连接有接近开关(11)。

5.根据权利要求1所述的高纯ptfe风囊泵,其特征在于:其中四个通孔(17)的内部螺纹连接有端盖封堵头(12),所述端盖封堵头(12)的一侧壁均开设有条形槽(15)。